Di lantai metrologi, bacaan XRD hanya sekuat kestabilan termal panggung. Drift 0.5°C akan mengubah hasil parameter kisi anda, dan itu adalah cara mudah untuk menghantar wafer ke dalam pemprosesan semula dan mengeluarkan litografi yang tidak memenuhi spesifikasi. Kami merancang lampu pemanasan XRD kami untuk mengekang ketidakpastian itu tepat di tempat ia bermula.
Apa yang penting di dalamnya Lampu ini menggunakan elemen inframerah gelombang pendek di dalam pembungkus kuarza, jadi haba disambungkan terus ke chuck dengan jisim termal yang rendah. Ia menggunakan kawalan gelung tertutup, dengan sensor yang telah dikalibrasi yang dipetakan di seluruh zon pemanasan. Anda akan mendapat keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C di seluruh kawasan pengukuran, dan kebolehulangan yang mengekalkan titik set yang sama kitaran demi kitaran—bahkan selepas ribuan. Ketumpatan kuasa diselaraskan untuk meningkat dengan cepat tanpa overshoot, dan output tetap stabil pada tugas 24/7 terima kasih kepada pengurusan kitar tugas yang terkawal. Mengapa ini penting dalam metrologi semikonduktor Dalam perniagaan ini, belanjawan termal adalah sebahagian daripada pengukuran. Lampu ini mengekalkan chuck pada suhu yang dimaksudkan dengan pengedaran yang ketat, jadi imbasan XRD tetap konsisten dari satu lot ke lot yang lain. Ia serasi dengan bilik bersih Kelas 1–100, dan bahan serta penyekat dipilih untuk meminimumkan penghasilan zarah sebanyak mungkin. Dalam pengeluaran, ini diterjemahkan kepada kurangnya penyimpangan palsu, kelakuan bak fotoresist yang stabil pada alat bersebelahan, dan masa kitaran yang boleh anda harapkan. Penggunaan tenaga diuruskan melalui penggabungan yang efisien dan penjadualan kuasa pintar—bukan dengan mengurangkan margin suhu. Apa yang perlu anda ketahui lebih awal Lampu ini direka untuk memenuhi jangkaan peralatan semikonduktor antarabangsa dan berfungsi sebagai alternatif yang disahkan dengan prestasi setara untuk antara muka platform biasa. Pemasangan bergantung kepada padanan pembungkus mekanikal, jenis penyambung, dan toleransi penjajaran optik. Pengubahsuaian lapangan adalah mudah, tetapi anda perlu memastikan perlindungan chuck asal dan kalibrasi sensor diletakkan. Rancang untuk menjalankan pengkomisian yang singkat untuk memuktamadkan peta termal untuk saiz wafer dan bahan panggung khusus anda.