에너지 효율적인 웨이퍼 히터

웨이퍼를 세척할 때 안전을 유지하는 방법 화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열할 때는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 적어도 폭발하기 쉬운 증기를 다루는 셈이죠. 일반적인 적외선 램프는 그러한 극한의 환경을 견딜 수 없습니다. 그런 상황에서는 재앙이 발생할 수 있습니...