트윈 튜브 골드 코팅 램프
반도체 공장에서의 탄소 배출 감소: 왜 금으로 코팅된 IR 램프가 효과적인가
만약 반도체 공장에서 일해본 적이 있다면, 온도 조절의 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 온도를 제대로 조절하지 못하면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 우리 대부분은...
트윈 튜브 적외선 가열 램프
리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변해도 포토레지스트의 특성이 나노미터 단위로 변하게 됩니다. 그러한 미세한 변화가 바로 생산 효율 저하로 이어집니다. 우리는 열 관리가 매우 중요한 공정 단계들을 위해 듀얼-튜브형 적외선 가열등을 개발했습니다. 이 장...
팹 오븐용 석영 히터 튜브
공장에서는 포토레지스트를 굽는 과정이 단순한 제안이 아니라, 반드시 준수해야 할 열 관리 원칙입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크의 온도가 2°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 생기거나 제품이 폐기되는 상황이 발생할 수 있습니다. 석영 히터 튜...