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웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

웨이퍼에 더 많은 열을 전달하는 방법 (에너지 낭비 없이) 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 사실상 에너지 손실과의 싸움이 필요합니다. 문제는 표준적인 석영 램프는 열을 360도 방향으로 방출한다는 점입니다. 만약 반사판이 없다면, 전력의 절반이 그냥 기계의 체계 안으로...
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