TEL (토쿄일렉트론) 히터 램프

라인상에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 0.3μm의 선폭 오차나, 포토레지스트 가장자리의 문제, 혹은 패키징 과정에서 발생하는 변형 등의 형태로 나타납니다. 웨이퍼 건조 과정, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정, 그리고 패키징...