웨이퍼를 세척할 때 안전을 유지하는 방법
화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열할 때는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 적어도 폭발하기 쉬운 증기를 다루는 셈이죠. 일반적인 적외선 램프는 그러한 극한의 환경을 견딜 수 없습니다. 그런 상황에서는 재앙이 발생할 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 가열 요소를 특수한 보호 재질로 감싸줍니다. 이렇게 하면 화학물질들이 열원으로부터 멀어지지만, 동시에 열은 필요한 곳까지 전달됩니다.
비밀은 밀폐성에 있습니다
우리는 스파크가 발생하지 않도록 주의합니다. 쿼츠 튜브를 내구성이 강하고 화학물질에 강한 소재로 감싸주고, 전극 연결 부분에는 밀폐형 밀봉재를 사용합니다. 왜냐하면 위험한 가스가 램프 내부로 들어가면 큰 문제가 생길 수 있기 때문입니다. 밀봉이 제대로 되지 않으면 단순한 기술적 문제가 아니라 심각한 리스크가 됩니다. 그래서 우리는 부식성 세척제에도 견딜 수 있는 재료를 사용합니다.
적절한 온도 조절
이러한 히터들은 단파 적외선을 사용합니다. 이 방식은 매우 빠릅니다. 그 덕분에 웨이퍼가 “위험한 온도 변동 구역”에 머무는 시간이 훨씬 줄어듭니다. 우리는 와트수를 조절하여 웨이퍼가 적절한 온도에 도달하면서도 용기가 파손되지 않도록 노력합니다. 한 가지 주의할 점은, 전력 공급 장치의 전압이 램프의 전압과 정확히 일치해야 한다는 것입니다. 그렇지 않으면 램프가 과열될 수 있습니다.
설치 및 유지보수
이 히터들은 현재 사용 중인 세척 모듈을 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 다만, 일반 램프보다는 약간 크기가 큽니다. 이는 방폭 인증을 받기 위한 대가입니다. 설치하기 전에는 케이스의 공간 여유를 반드시 확인해야 합니다. 일단 설치가 완료되면, 외부 보호 코팅에 금이 가는지 주의 깊게 확인해야 합니다. 금이 간다면 즉시 램프를 꺼내야 합니다. 또한, 세척 기계가 진동하기 때문에 강화된 커넥터를 사용합니다. 그렇지 않으면 전선이 흔들려서 폭발적인 상황이 발생할 수 있습니다. 이것은 당연한 예방 조치입니다.