클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 충분하지 않습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 기체만으로도 웨이퍼가 손상되거나 센서가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인파라레드 램프를 사용합니다. 물리적인 원리를 보면, 일반적인 히터들은 최고 온도에 도달하는 순간 유기 화합물(VOCs)을 방출합니다. 하지만 이 램프들은 그러지 않습니다. 우리는 수산기(OH) 함량이 높은 융합 석영을 사용하는데, 이는 압력에도 견딜 수 있기 때문입니다. 석영 튜브는 마치 금고와 같아서 텅스텐 필라멘트를 안전하게 감싸주어 청정한 공기가 밖으로 새어나가지 않도록 해줍니다.
센서 포장에 있어서는 단파 인파라레드(SWIR)를 사용합니다. 이 방식이 더 효율적입니다. 장파 열보다 훨씬 빠르고 깊이까지 열을 전달할 수 있습니다. 또한 고순도의 엔드캡과 단단한 밀봉 처리를 통해 할로겐 가스가 새어나가는 것을 막습니다.
하지만 주의할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 조절해야 합니다. 이 램프들은 아주 작은 공간에 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 만약 바로 최대 출력으로 사용한다면, 그 열로 인해 센서가 손상될 수 있습니다. 저는 항상 서서히 출력을 높이는 것을 권장합니다.
이 램프들은 정밀한 장비에 바로 장착할 수 있도록 설계되어 있어 설정이 쉽습니다. 하지만 고순도 석영은 깨지기 쉽다는 점을 명심해야 합니다.
무엇보다도, 절대로 맨손으로 튜브를 만지지 마세요. 피부에서 나오는 기름 성분이 작은 열점을 만들어내는데, 이로 인해 튜브가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 수 있습니다.
이 램프들은 열을 공급하는 가장 깨끗한 방법이지만, 단점도 있습니다. 합성 석영은 비용이 비싸고, 전압 조절도 세심하게 해야 합니다. 전원 공급 장치에 리듬이 있다면 필라멘트가 손상될 수 있습니다.
마지막으로, 고온에 견딜 수 있는 케이블을 사용하세요. 제품 옆에서 케이블에서 가스가 나오면 안 되니까요.