트윈 튜브 골드 코팅 램프
반도체 공장에서의 탄소 배출 감소: 왜 금으로 코팅된 IR 램프가 효과적인가
만약 반도체 공장에서 일해본 적이 있다면, 온도 조절의 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 온도를 제대로 조절하지 못하면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 우리 대부분은...
트윈 튜브 적외선 가열 램프
리소그래피 공정에서는, 베이킹 온도가 0.5°C만 변해도 포토레지스트의 특성이 나노미터 단위로 변하게 됩니다. 그러한 미세한 변화가 바로 생산 효율 저하로 이어집니다. 우리는 열 관리가 매우 중요한 공정 단계들을 위해 듀얼-튜브형 적외선 가열등을 개발했습니다. 이 장...