열을 낭비하지 마세요: 왜 금도금 반사판이 중요한가
반도체 제조 공장에서는 열이 모든 것입니다. 하지만 문제는 표준적인 적외선 램프들이 에너지를 여기저기로 흩뿌린다는 점입니다. 적절한 반사판이 없다면, 그 에너지는 그냥 기계의 몸체 안으로 사라져버립니다. 이는 큰 낭비입니다.
그래서 우리는 금도금 반사판을 사용합니다. 기계를 더 멋지게 보이게 하기 위해서가 아닙니다. 적외선 에너지를 정확히 웨이퍼에 전달하기 위해서입니다.
왜 금일까?
알루미늄도 흔히 사용되는 재료이며, 일부 경우에는 적합합니다. 하지만 치유용 램프가 방출하는 장파 및 중파 적외선의 경우에는 금이 훨씬 낫습니다. 금은 열을 흡수하지 않고 다시 반사시킵니다.
결과적으로, 더 많은 와트수가 웨이퍼에 집중됩니다. 즉, 더 적은 노력으로 더 강력한 열을 가할 수 있습니다.
어려운 부분: 열과 전력
고출력 램프를 사용할 때는 엄청난 양의 열이 발생합니다. 우리 모두는 빠른 작동 속도를 원하지만, 그 강도는 석영 커버에 매우 해로울 수 있습니다.
전원 공급 장치가 램프의 전압에 정확하게 맞춰지지 않으면 상황이 급격히 악화됩니다. 그러면 열 분포가 불균형해지거나, 최악의 경우 램프가 손상될 수도 있습니다. 또한, 웨이퍼에 닿지 않는 열도 처리할 수 있도록 쿨링 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 이를 간과하면 기계 자체가 손상될 수 있습니다.
공정에 적용하는 방법
우리는 다운타임을 줄이기 위해 이러한 반사판들을 그대로 교체할 수 있는 형태로 만들었습니다. 일관된 성능을 유지하기 위해 진공 증착 방식을 사용하여 금 도금을 합니다. 이 방법을 통해 전체 표면에 균일한 코팅이 가능해집니다. “핫 스팟”도 없고, 웨이퍼도 변형되지 않습니다. 그저 깨끗하고 일관된 열만 전달됩니다.
단, 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 금은 조금 까다로운 재료입니다. 만약 공장 내에 부식성 가스가 있다면, 그 코팅이 손상될 수 있습니다. 코팅이 벗겨지거나 구멍이 생기면 효율성이 떨어집니다.
그래서 가끔씩 반사판의 상태를 점검하는 것이 좋습니다. 그래야만 의도치 않게 에너지가 손실되는 것을 막을 수 있습니다.