정밀한 적외선 가열로 탄소 배출을 줄이다
반도체 공장에서 작업할 때, 온도는 단순한 설정값이 아니라 모든 것을 결정하는 요소입니다. 조금만 오차가 생겨도 전체 제품이 폐기되어 버립니다.
우리는 단파 적외선 가열이 최적의 방법이라는 것을 알아냈습니다. 왜냐하면 이 방식은 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 에너지를 낭비하지 않습니다. 에너지가 직접 기판에 전달되기 때문입니다. 이것이 바로 에너지 비용과 탄소 배출량을 줄이는 비결입니다.
핵심은 밀도에 있습니다.
생각해보세요. 고출력 적외선 램프를 사용하면 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 분이 아니라, 초죠.
그렇게 되면 기계가 예열되는 동안 시간과 에너지를 낭비하는 일이 없어집니다. 우리는 실리콘이 흡수하기 쉬운 특정 파장대를 선택하여 에너지를 정확하게 전달합니다. 에너지는 필요한 곳에만 전달되고, 챔버 벽으로는 전달되지 않습니다.
하지만 단점도 있습니다.
열이 사방으로 퍼지는 것을 막기 위해 석영 케이스와 정밀한 반사체를 사용하여 광선을 집중시킵니다. 이 방식은 매우 효과적이지만, 마치 고성능 엔진을 사용하는 것과 같아서 램프 필라멘트에 큰 부담이 갑니다.
전압이 조금이라도 변동한다면, 램프가 예상보다 훨씬 빨리 고장날 수 있습니다. 장비가 오랫동안 사용되려면 안정적인 전력 공급이 필요합니다.
“친환경 공장” 목표 달성에 도움이 됩니다.
구식 저항식 가열 방식 대신 정밀한 적외선 가열 방식을 사용하면 지구에 큰 도움이 됩니다. 이제는 불필요하게 공기를 데우는 데 에너지를 낭비하는 대형 오븐들을 사용할 필요가 없습니다.
모든 과정이 더 빨라집니다. 작업 시간이 줄어들고, 전기 요금도 낮아집니다. 또한 공장의 냉각 시스템도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다.
이것은 진정한 윈-윈 상황입니다. 탄소 중립 목표를 달성할 수 있으면서도 생산 속도를 늦출 필요도 없습니다.