클래스 100 청정실에서 적절한 온도를 유지하는 방법 (혼란 없이)
클래스 100 청정실에서 작업할 때 가장 원하지 않는 것은, 난방 장치가 입자들을 곳곳에 퍼뜨리는 것입니다. 이런 일은 생각보다 자주 발생합니다. 일반적인 히터들은 가열되고 냉각될 때 조각들이 떨어져 나오거나 기체가 방출됩니다. 이는 작업 공간을 깨끗하게 유지하려는 사람들에게는 큰 문제가 됩니다.
우리는 고순도의 융합규소 석영을 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다.
왜 이 방법이 효과적인가요?
비결은 오염물질이 처음부터 들어오지 못하도록 하는 것입니다. 우리는 그러한 미세한 금속 불순물들이 제거된 석영 커버를 사용합니다. 그러한 불순물이 없으면, 과도한 열로 인한 손상이나 표면 손상이 발생하지 않습니다.
또한, 대류식 대신 적외선을 사용하기 때문에 공기가 움직이지 않습니다. 공기가 움직이지 않으면 먼지도 작업물 쪽으로 이동하지 않습니다. 그래서 먼지가 그대로 남아 있습니다.
제작 과정에 대해 알아보기
이러한 램프들이 오랫동안 사용될 수 있도록, 필라멘트에는 할로겐이 포함된 구조가 사용됩니다. 또한 모든 부분을 고진공 기술을 사용하여 밀폐하기 때문에 누수 걱정도 하지 않아도 됩니다.
전선으로는 보통 금 도금 처리된 것이나 고품질의 스테인리스 스틸이 사용됩니다. 왜냐하면 연결 부위에서의 산화가 바로 입자가 발생하는 원인이 되기 때문입니다. 이러한 재료를 사용하면 그 위험을 크게 줄일 수 있습니다.
전선 연결도 간단합니다. 표준 R7나 Sk15 소켓에 바로 연결됩니다. 단단히 고정되어 있어서 장비가 진동해도 느슨해지지 않습니다. 따라서 전기적 문제도 걱정할 필요가 없습니다.
주의해야 할 점들
이러한 램프들은 많은 열을 발생시킵니다. 열이 너무 많아서 램프가 빠르게 가열됩니다. 하지만 냉각 팬이나 히트 싱크가 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 만약 작업대의 환기가 제대로 되지 않으면 열이 계속 쌓여서 장비가 손상될 수 있습니다.
우리는 이러한 램프들을 기존의 작업대에 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 그래서 웨이퍼나 광학 부품들이 손상될 위험 없이 안정적인 온도를 유지할 수 있습니다.
한 가지 팁: 석영관을 깨끗하게 유지해야 합니다. 유리 위에 지문이 남으면, 그 기름 성분들이 남아 있게 됩니다. 이로 인해 과열이 발생하여 석영관이 깨질 수 있습니다. 간단히 닦아주기만 하면 됩니다.