赤外線ランプ用アルミニウム反射板
なぜ金メッキされた反射器がIR装置にとって重要なのか
シリコンウェーハを加熱する際、1ワットというエネルギーも大切です。
ほとんどの人は通常のアルミニウム製の反射器を使います。基本的な用途には問題ありませんが、問題はエネルギーが漏れ出してしまうことです。まるで窓を開けたまま部屋を暖めようとするよう...
ウェーハ用高精度IRセンサー
精密なIR加熱による二酸化炭素削減
半導体工場で作業を行う際、温度というのは単なる設定値ではありません。それはすべてを左右する要素です。わずかな誤差があっても、そのロット全体が使い物にならなくなってしまいます。
私たちは、短波長のIR加熱が最適な方法だと気づきました。なぜでしょうか?それは、ウェー...
IRエミッタ用のセラミックエンドキャップ
ガラスの「嵐」を止める:なぜIRエミッターにはセラミック製のエンドキャップが必要なのか 高負荷の半導体製造を行っている方なら、その悩みはよくご存知でしょう。IRランプが壊れてしまうのです。ただ単に停止するだけではありません。完全な混乱状態になります。 石英管が壊れると、単に機能しなくなるだけではあ...