In der Fertigungshalle kann bereits eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur dazu führen, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden – und dadurch wird viel Material als Ausschuss weggegeben. Man kann die Ausbeute nicht durch Zufall steuern. Stattdessen muss man die Temperaturregulierung strenger steuern, als es der Prozess selbst erfordert. Wir haben unseren Temperatursensor genau für diese Anforderungen entwickelt.
Was technisch wichtig ist:
Wir fordern eine Stabilität von ±0,1 °C im gesamten Temperaturbereich, der bei der Verarbeitung von Fotolacken verwendet wird – schließlich liegen die Toleranzen bei der Lithografie innerhalb dieses Bereichs. Der Sensor wird in Wafernwerkzeuge integriert, die mit Reinräumen der Klasse 1–100 kompatibel sind. Zudem ist der Sensor so konstruiert, dass kein Schmutz entsteht – dadurch wird die gewünschte Reinheit beibehalten. Der Sensor arbeitet 24/7, und seine Lebensdauer ist so gestaltet, dass unplanmäßige Stillstände vermieden werden. Zudem liefert er Daten mit der nötigen Wiederholgenauigkeit für eine statistische Prozesskontrolle.
Warum der Sensor in der Praxis funktioniert:
Sowohl bei weicher als auch bei harter Backung sorgt der Sensor dafür, dass die Temperatur stabil bleibt. Lösungsmittel verlassen das Material vorhersehbar, und das Profil des Fotolacks bleibt konstant. Dadurch wird die Varianz an den Rändern reduziert, und die Genauigkeit der Gestaltung verbessert sich.
Das bedeutet weniger Abweichungen, weniger Nacharbeiten sowie ein Equipment, das von Schicht zu Schicht gleichbleibend funktioniert. Die Ergebnisse zeigen sich dort, wo es wirklich zählt: stabile Backprofile, weniger Partikelbildung sowie eine zuverlässige Funktion des Equipments.
Was man richtig machen muss:
Die Installation muss zur thermischen Masse des Werkzeugs sowie zum Kalibrierungsintervall passen. Wenn die Position des Sensors falsch ist, kann das dazu führen, dass die beobachteten Abweichungen übersehen werden. Planen Sie daher ein kurzes Kalibrierungszeitfenster, um die Einstellungen an die tatsächliche Waftertemperatur anzupassen. Wenn alles richtig gemacht wird, wird der Sensor zur Referenzgröße für den gesamten Backprozess.