In der Fertigungsstätte befindet sich der Spüldroger direkt zwischen den Schritten der Reinigung und der Lithografie. Selbst eine Temperaturabweichung von nur 0,5°C kann dazu führen, dass auf dem Wafer Spuren zurückbleiben – oder schlimmer noch: Es kann zu einer Verformung des Photorezysts nach der Hartbrennprozedur kommen. Wir haben unseren Quarzheizer speziell für diese Zone entwickelt – dort sind eine schnelle Reaktion auf Temperaturänderungen, Sauberkeit sowie Reproduzierbarkeit entscheidend für die Qualität der Produkte.
Was technisch wichtig ist:
Der Kern des Heizers besteht aus einem Kurzwellen-Quarzinfrarotstrahler, der eine schnelle Reaktion auf Temperaturänderungen ermöglicht. Unsere Zielvorgabe ist eine thermische Gleichmäßigkeit auf dem Wafer von ±0,1°C über die gesamte Fläche hinweg. Die Temperatur kann dabei zwischen 50°C und 250°C eingestellt werden, wobei die Reaktionszeit unter 2 Sekunden liegt. Durch die geschlossene Regelung bleibt das Temperaturprofil konstant – dadurch werden empfindliche Strukturen nach dem Ätzen und CMP nicht beschädigt. Der Heizer besteht aus Ultrahochreinem Quarz, der mit Reinraumklassen 1–100 kompatibel ist. Die Oberfläche ist so konzipiert, dass nur minimale Partikel entstehen – außerdem funktioniert der Heizer 24/7 ohne Abweichungen, die eine Neukalibrierung notwendig machen würden.
Warum er sich für den Spüldroger eignet:
In einem Spüldroger ist es wichtig, dass die Wärme schnell und gleichmäßig abgegeben wird – gerade genug, um das Spülwasser zu verdampfen, ohne dabei die Strukturen auf dem Wafer zu zerstören oder den Photorezyst zu belasten. Dieser Heizer sorgt dafür, dass das Temperaturprofil konstant bleibt – dadurch kann der Prozess immer wieder wiederholt werden. Dadurch werden kürzere Bearbeitungszeiten erreicht, weniger Ausschuss entsteht, und durch die effiziente Infrarotübertragung sowie die geringe Wärmemasse wird weniger Energie verbraucht.
Praktische Hinweise:
Die Installation hängt von der richtigen Ausrichtung und dem notwendigen Abstand ab. Der Quarzkörper ist zwar widerstandsfähig, doch er ist empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen. Passen Sie die Spannung und die Anschlüsse an die Spezifikationen Ihrer Geräte an. Falls Sie sich in einem Bereich mit hohen elektromagnetischen Störungen befinden, sollten Sie zusätzlich eine Abschirmung verwenden. Mit richtiger Montage und sorgfältiger Handhabung können Sie mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden rechnen – bei weniger als 5% Degradation.