Bei der Trocknung nach dem CMP-Prozess führen Wasserzeichen sowie die erneute Ablagerung von Partikeln weiterhin zu Produktionsverlusten. In den meisten Fällen liegt das Problem in einem instabilen thermischen Profil während des Trocknungsprozesses. Wir haben unseren Heizer für das Trocknen der Wafer nach dem CMP so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten beseitigt werden – anstatt sie noch zu verstärken.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwell-Infrarotelemente hinter einer Quarzscheibe. Dadurch trifft die Energie direkt und schnell auf das Wafer – ohne dass sie den Untergrund überschreitet. In der aktiven Zone halten wir eine Homogenität der Temperatur auf einem Niveau von ±0,1 °C auf. Die Wiederholgenauigkeit bleibt konstant, da eine kalibrierte Schließschleifensteuerung die eingestellte Temperatur in Echtzeit überwacht. Der Heizer eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass keine Partikel mehr entstehen, sobald ein stabiler Zustand erreicht ist.
Warum das bei der Trocknung nach dem CMP funktioniert:
Die Aufgabe besteht darin, die Spülenschicht sauber und schnell zu entfernen – ohne Rückstände. Eine strenge thermische Kontrolle sorgt dafür, dass die Oberflächenspannung von Charge zu Charge konstant bleibt. Dadurch werden Defekte vermieden. Diese Stabilität spiegelt sich auch beim Fotolack wider: Die Temperaturen bleiben konstant, wodurch keine Abweichungen in den Abmessungen oder Rauheiten an den Kanten entstehen. Der Heizer kann außerdem rund um die Uhr betrieben werden, ohne dass es zu Ausfällen kommt. Dadurch bleibt die Produktivität konstant und die Wartung vorhersehbar.
Was man vorab wissen sollte:
Bei der Installation muss die Geometrie des Raumes berücksichtigt werden, außerdem müssen die Anschlüsse für Kühlflüssigkeit und Abgasen richtig angeordnet werden. Wir liefern die entsprechenden Pläne, doch Sie müssen die Anordnung vor Ort noch überprüfen. Planen Sie außerdem eine kurze Aufwärmphase ein, bevor die erste Chargen getrocknet wird. Das ist der Preis, den man für die benötigte Wiederholgenauigkeit zahlt. Sobald alles richtig eingestellt ist, hält der Heizer den thermischen Zustand unter Kontrolle und bewahrt damit das Prozessfenster bei.