Auf der Lithografiestraße kommt das 300-mm-Wafer gerade aus dem DNS-Reiniger und wartet darauf, im Fotorezeptor gebrannt zu werden. Die Anlage verträgt keine Abweichungen von ±0,5 °C – außerdem darf es in dem Reinraum keine zusätzlichen Partikel geben. Wenn das thermische Profil auch nur leicht abweicht, geht die Kontrolle über die Temperatur verloren – und damit auch die Produktivität.
Genauigkeit der Infrarotheizung: Sub-millimetergenaue Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit
Die Lampe zum Trocknen der Wafer wird mit Kurzwellen-Infrarotstrahlern ausgestattet, die auf die Absorptionseigenschaften der üblichen Fotorezeptorschichten abgestimmt sind. Dadurch wird eine sub-millimetergenaue Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche des Wafers erreicht. Zudem sorgt die wiederholbare Steuerung dafür, dass die Temperatur stets innerhalb enger Toleranzen bleibt – sowohl während des sanften als auch des intensiven Brennvorgangs. Die geschlossene Regelung hält die Temperatur genau dort, wo sie benötigt wird – somit erhält jede Charge das gleiche Temperaturprofil, Schicht für Schicht.
Warum das System bei der Trocknung und Imprägnierung funktioniert
Die Lampe kann direkt in die DNS-Trocknungsmodule eingebaut werden und liefert schnell und effektiv Wärme – ohne Kontakt. Sie funktioniert in Umgebungen der Kategorie 1–100, mit keiner Partikelbildung und geringer Gasemission – genau das, was notwendig ist, um die Produktivität bei fortgeschrittenen Prozessen zu gewährleisten. Die hohe Wiederholbarkeit der Brenntemperaturen stabilisiert den Prozess, während die schnelle thermische Reaktion die Zykluszeiten verkürzt und den Energieverbrauch reduziert. Das Ergebnis ist eine konstante Leistung der Anlage, weniger Nacharbeiten sowie planbare Wartungsintervalle.
Installation- und Betriebshinweise
Planen Sie bereits im Voraus die elektrischen Anschlüsse unter Berücksichtigung der Anforderungen des Reinraums. Überprüfen Sie außerdem genau, ob die Strahler richtig ausgerichtet sind – eine Fehlorientierung führt zu Unebenheiten in der Temperaturverteilung. Die Lampe kann zuverlässig mit voller Leistung arbeiten – doch die Strahler haben eine begrenzte Lebensdauer. Planen Sie daher frühzeitig Ersatzteile ein, damit es nicht zu unplanierten Stillständen kommt. Vor dem Einsatz sollten Sie noch einmal überprüfen, ob die Version der DNS-Anlage mechanisch geeignet ist und ob das Temperaturbereich der Anlage zum Prozess passt.