省エネ型半導体ヒーター

IR加熱と熱風加熱：どちらがウェーハの処理に適しているのか？ もし、熱風循環式から赤外線（IR）加熱方式に切り替える場合、つまりエネルギーが基板上にどのように伝わるかという点が変わるわけです。 一度、熱風加熱について考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気が部品を加熱するわけです。ここにはタイ...