DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ

リソグラフィー工程では、その300mmウェーハはDNSクリーナーから取り出された後、フォトレジストの硬化処理を待っている状態になります。この工程では、±0.5℃の温度変動も許されず、またクリーンルーム内には余分な粒子も存在してはなりません。もし温度がわずかにでも変動すれば、CD精度が失われ、結果と...