Wenn man eine Reinraumumgebung der Klasse 100 betreibt, reicht „fast sauber“ definitiv nicht aus. Schon ein winziger Staubkorn oder eine kleine Menge Gas von einem Heizelement kann dazu führen, dass ein Wafer zerstört wird oder ein Sensor beschädigt wird. Das ist ein Albtraumszenario.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarzkohlenstoff-Infrarotlampen. Die Physik dahinter ist einfach: Herkömmliche Heizgeräte beginnen bereits bei Erreichen der Maximaltemperatur, flüchtige organische Verbindungen abzugeben. Das gilt nicht für diese Lampen. Wir verwenden Quarz mit hohem Hydroxylgehalt – er zerfällt unter Druck einfach nicht. Man kann den Quarzrohr als eine Art „Tresor“ betrachten: Er bewahrt den Wolframdraht sicher auf, sodass nichts in die saubere Luft gelangen kann.
Für die Verpackung der Sensoren nutzen wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Dadurch wird die Wärme effektiver übertragen – sie dringt tiefer und schneller in die Verpackungsmaterialien ein als Langwellenwärme. Zudem verwenden wir hochreine Endkappen sowie fest verschließbare Elemente, damit keine Halogene entweichen können.
Aber Vorsicht: Achten Sie auf die Leistungsdichte dieser Lampen. Sie liefern eine enorme Menge an Wärme in einem sehr kleinen Raum. Wenn man sie sofort mit voller Leistung einschaltet, kann das zu Überlastung der Sensoren führen. Ich empfehle immer, die Leistung schrittweise zu erhöhen.
Diese Lampen sind dafür konzipiert, direkt in die Präzisionshalterungen eingebaut zu werden – dadurch wird die Einrichtung erleichtert. Denken Sie jedoch daran: Hochreiner Quarz ist brüchig.
Unter keinen Umständen sollten Sie die Lampen mit bloßen Händen berühren. Die Öle in Ihrer Haut erzeugen kleine Hitzequellen. Sie sind zwar nicht sichtbar, doch sie können dazu führen, dass die Lampen viel früher versagen.
Diese Lampen sind zwar die beste Möglichkeit, Wärme bereitzustellen – doch es gibt auch Nachteile. Der synthetische Quarz ist teuer, und man muss auf die Spannung achten. Wenn die Stromversorgung Unregelmäßigkeiten aufweist, können die Filamente beschädigt werden.
Noch ein Tipp: Verwenden Sie Hochtemperaturleitungen. Man möchte schließlich nicht, dass die Kabel neben dem Produkt, das sauber bleiben soll, Gase abgeben.