Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen den Wafer.
Die meisten Infrarotlampen sind ziemlich unpräzise in ihrer Wärmeabstrahlung. Sie strahlen Wärme in alle Richtungen aus – insgesamt 360 Grad. Wenn man mit präzisen Halbleitergeräten arbeitet, ist das ein Problem. Ein großer Teil der Energie erreicht den Wafer überhaupt nicht. Stattdessen trifft sie auf die Innenwände der Maschine. Das Ergebnis: Die Maschine wird so heiß, dass sie die Hände des Bedienders verbrennen kann. Zudem müssen die Kühlfans überlastet arbeiten, um zu verhindern, dass alles schmilzt. Das ist verschwendete Energie.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie hingehört
Wir lösen dieses Problem mit ozeongefreier Infrarottechnologie. Durch den Einsatz spezieller Quarzköpfe und Reflektoren kann die Strahlung in einen gezielten Strahl gelenkt werden. Dadurch bleibt die Wärme auf dem Zielobjekt konzentriert. So wird keine Energie mehr damit verschwendet, die Luft sowie den Metallrahmen der Maschine zu erhitzen.
Was das Ozon angeht – das ist unverhandelbar
Standard-Wellenlängenlampen erzeugen Ozon – was für empfindliche Halbleiterschichten katastrophal ist. Unseres Erachtens muss dieses Nebenprodukt bereits bei der Entstehung eliminiert werden.
Kompromisse und wie man damit umgeht
Wenn man all diese Wärme an einem Punkt bündelt, steigt die Dichte der Wärme stark an. Während die Wände der Maschine weiterhin kühl bleiben, wird die betroffene Stelle deutlich wärmer. Man sollte seine PID-Steuergeräte gründlich überprüfen. Wenn sie nicht kalibriert sind, könnte es dazu kommen, dass die gewünschte Temperatur überschritten wird. Falls man ein altes System aufrüstet, sollte man darauf achten, dass die Befestigungsstrukturen nicht aus Materialien bestehen, die unter dem Einfluss der Wärme verformen könnten.
Ein besserer Tag für Ihre Mitarbeiter
Durch den Einsatz von gerichteter Heizung verschwindet das Problem der „heißen Wände“ komplett. Ihr Team kann nun näher an der Maschine arbeiten, ohne Angst vor Verbrennungen durch die Außenhülle haben zu müssen. Zudem bleibt das Innere der Maschine insgesamt kühler. Das ist ein Vorteil für die anderen elektronischen Komponenten, die nicht mehr in einer Art „Sauna“ arbeiten müssen, um ihre Aufgabe zu erledigen.