Das richtige Heizen in einem Reinraum der Klasse 100 – ohne Staubbildung
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist das Letzte, was man braucht, dass die Heizelemente Partikel freisetzen, die den Arbeitsbereich verschmutzen. Das passiert häufiger, als viele zugeben. Herkömmliche Heizelemente neigen dazu, beim Erhitzen und Abkühlen abzublättern oder Gase abzugeben. Das ist ein Albtraum für alle, die einen sauberen Arbeitsbereich erhalten möchten.
Wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden hochreinen Fusionsquarz für unsere Infrarotlampen.
Warum das funktioniert
Das Geheimnis liegt darin, die Kontamination bereits vorher zu vermeiden. Wir verwenden Quarzkörper, aus denen alle kleinen metallischen Verunreinigungen entfernt wurden. Ohne diese Verunreinigungen kommt es nicht zu vorzeitiger Zerstörung der Heizelemente oder zur Beschädigung der Oberfläche – was wiederum zur Bildung von Staub führt.
Und hier ist das Beste: Da wir Infrarotstrahlung statt konventioneller Heizung nutzen, wird keine Luft bewegt. Keine Luftbewegung bedeutet auch, dass kein Staub auf das Werkstück gelangen kann. Der Staub bleibt einfach an seinem Platz.
Technische Details
Damit diese Lampen lange halten, verwenden wir Halogenlichtquellen für die Filamente. Außerdem versiegeln wir alles mit Hochvakuum-Methoden, damit keine Lecks entstehen. Für die Anschlüsse verwenden wir meist vergoldetes Metall oder hochwertigen Edelstahl. Warum? Denn an den Anschlüssen entsteht oft Oxidation, was wiederum zur Freisetzung von Partikeln führt. Durch den Einsatz dieser Materialien wird dieses Risiko stark reduziert.
Die Anschlussarbeit ist einfach: Die Lampen passen perfekt in die Standard-Sockel R7 oder Sk15. Sie sitzen fest, sodass sie nicht lose werden, falls das Gerät vibriert. Dadurch müssen Sie sich keine Sorgen um elektrische Entladungen machen.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Diese Lampen erzeugen viel Wärme. Sie werden schnell warm – doch man muss sicherstellen, dass die Kühllüfter oder Kühlelemente ausreichend leistungsfähig sind. Wenn die Schrankstruktur nicht richtig belüftet wird, kann sich die Wärme ansammeln – das kann dazu führen, dass die Geräte beschädigt werden.
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie als Ersatz für Ihre vorhandenen Geräte dienen können. So erhalten Sie eine konstante Temperatur – ohne dass Ihre Wafer oder optischen Komponenten beschädigt werden.
Tipp: Halten Sie die Quarztuben sauber. Wenn Sie Fingerabdrücke auf dem Glas hinterlassen, bleiben die Öle dort zurück. Das führt zu Hotspots – und Hotspots können dazu führen, dass die Quarztube zerbricht. Einfach einmal abwischen – dann ist alles in Ordnung.