Trong quy trình sản xuất, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5 độ C cũng có thể khiến kích thước của các chi tiết sản phẩm thay đổi vài nanomet, khiến những sản phẩm tốt bị biến thành phế liệu. Bạn không thể chỉ dựa vào may mắn để kiểm soát chất lượng sản phẩm. Bạn cần kiểm soát nhiệt độ một cách chặt chẽ hơn cả yêu cầu của chính quy trình sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế cảm biến nhiệt độ dựa trên thực tế này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi yêu cầu độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trong toàn bộ phạm vi nhiệt độ được sử dụng trong quy trình xử lý phim quang học. Đó là phạm vi mà các giới hạn chấp nhận được trong quy trình gia công được xác định. Cảm biến này được tích hợp vào các thiết bị xử lý wafer trong môi trường sạch cấp độ 1–100, và được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào – nhờ đó nó không làm ảnh hưởng đến mức độ sạch mà bạn đã cố gắng duy trì. Cảm biến hoạt động 24/7, với thiết kế nhằm tránh việc ngừng hoạt động bất ngờ. Ngoài ra, cảm biến còn cung cấp thông tin chính xác để kiểm soát quy trình sản xuất một cách hiệu quả.
Tại sao cảm biến này lại hoạt động tốt trong thực tế? Trong quy trình gia công ở nhiệt độ thấp hoặc cao, cảm biến giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Các chất dung môi sẽ rời khỏi bề mặt wafer một cách có thể dự đoán được, và đặc tính của phim quang học cũng giữ nguyên. Điều này giúp giảm sự biến đổi ở các mép wafer và nâng cao độ chính xác của các chi tiết được tạo ra.
Điều đó có nghĩa là số lần phải làm lại sản phẩm sẽ giảm, và thiết bị hoạt động ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác. Các con số cho thấy rõ điều này: độ ổn định của nhiệt độ cao, ít sự cố liên quan đến bụi bẩn, và thời gian hoạt động của thiết bị luôn đúng theo kế hoạch.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt cảm biến cần phải phù hợp với khối lượng nhiệt của thiết bị và khoảng thời gian cần thiết để calibrate cảm biến. Nếu vị trí lắp đặt cảm biến không chính xác, nó có thể che giấu những thay đổi nhiệt độ mà bạn muốn phát hiện.
Hãy chuẩn bị sẵn khoảng thời gian ngắn để điều chỉnh các thiết lập sao cho phù hợp với nhiệt độ thực tế của wafer. Hãy lên kế hoạch calibrate cảm biến định kỳ để duy trì độ chính xác ở mức ±0,1°C. Nếu làm đúng như vậy, cảm biến sẽ trở thành công cụ tham chiếu mà toàn bộ hệ thống gia công có thể tin tưởng.