Trong khu vực làm sạch và sấy khô wafer, thiết bị sấy khô được đặt ngay giữa hai giai đoạn này. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ dù chỉ 0,5°C thôi cũng có thể gây ra những vết ố trên bề mặt wafer; tệ hơn nữa, điều này có thể khiến lớp phim quang học bị biến dạng sau quá trình nung. Chúng tôi chế tạo bộ sưởi bằng thạch anh dành riêng cho khu vực sấy khô này, vì ở đây yêu cầu cao về khả năng kiểm soát nhiệt độ, độ sạch và tính lặp lại của quy trình.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ phận cốt lõi của thiết bị này là bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn, giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Mục tiêu của chúng tôi là đạt được độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, với nhiệt độ có thể được điều chỉnh từ 50°C đến 250°C, và thời gian phản ứng dưới 2 giây. Hệ thống kiểm soát vòng kín giúp duy trì nhiệt độ ổn định, nhờ đó các cấu trúc nhạy cảm trên wafer không bị tổn thương sau quá trình etching và CMP. Vỏ thiết bị được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cực cao, phù hợp với môi trường sạch loại 1–100. Bề mặt thiết bị được thiết kế sao cho hạn chế tối đa sự xuất hiện của các hạt bụi; thiết bị có thể hoạt động 24/7 mà không gây ra sự sai lệch nhiệt độ, giúp giảm chi phí calibrating thiết bị.
Tại sao thiết bị này phù hợp cho công việc sấy khô
Trong quá trình sấy khô, cần có nguồn nhiệt có thể cung cấp nhiệt độ nhanh chóng và đồng đều – đủ để loại bỏ nước còn sót lại trên bề mặt wafer, mà không gây tổn hại đến các cấu trúc trên wafer hay lớp phim quang học. Thiết bị này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, giúp quy trình sản xuất diễn ra liên tục, từ giai đoạn nung nhẹ đến giai đoạn nung mạnh. Nhờ đó, thời gian xử lý wafer được rút ngắn, lượng wafer bị hỏng do các vết ố hoặc vấn đề liên quan đến nước cũng giảm, đồng thời mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm nhờ khả năng truyền nhiệt hiệu quả và khối lượng nhiệt thấp của thiết bị.
Ghi chú khi lắp đặt
Việc lắp đặt thiết bị chủ yếu liên quan đến việc xác định vị trí lắp đặt và khoảng cách cần thiết. Vỏ thiết bị được làm từ thạch anh rất bền, nhưng lại dễ vỡ nếu bị tác động cơ học mạnh. Cần đảm bảo rằng điện áp và cổng kết nối phù hợp với thông số kỹ thuật của thiết bị. Nếu lắp đặt trong môi trường có nhiễu điện từ cao, cần có biện pháp bảo vệ. Với cách lắp đặt đúng cách và việc xử lý cẩn thận, thiết bị có thể hoạt động trong hơn 5.000 giờ mà chỉ có chưa đến 5% tỷ lệ suy giảm chất lượng.