Trên khu vực xử lý bằng phương pháp in khắc, tấm wafer có kích thước 300 mm vừa được lấy ra khỏi máy làm sạch DNS, và giờ đây nó đang chờ được xử lý bằng hóa chất phản ứng ánh sáng. Hệ thống sản xuất không thể chấp nhận sự dao động nhiệt độ lên đến ±0,5 °C; đồng thời, phòng sạch cũng không thể chịu đựng sự hiện diện của các hạt bụi không mong muốn. Nếu nhiệt độ thay đổi dù chỉ một chút, việc kiểm soát độ chính xác của các thông số kỹ thuật sẽ bị ảnh hưởng, và điều đó dẫn đến tỷ lệ sản phẩm bị lỗi tăng lên.
Độ chính xác của việc sưởi ấm bằng tia hồng ngoại: Độ đồng đều và khả năng lặp lại cao ở mức dưới mili mét
Bóng đèn sử dụng trong quá trình sấy wafer của DNS được thiết kế dựa trên các nguồn phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn, được điều chỉnh sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của các lớp hóa chất phản ứng ánh sáng. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều nhiệt độ ở mức dưới mili mét trên toàn bộ bề mặt wafer. Khả năng lặp lại của quá trình sưởi ấm cũng rất cao, giúp duy trì nhiệt độ trong phạm vi cho phép trong suốt quá trình sấy. Hệ thống kiểm soát khép kín giúp duy trì nhiệt độ ở mức yêu cầu, nhờ đó mỗi lô sản phẩm đều có cùng chất lượng.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quá trình sấy và xử lý bằng DNS
Bóng đèn hoạt động trực tiếp trong các mô-đun sấy của DNS, mang lại nhiệt lượng nhanh chóng và hiệu quả mà không cần tiếp xúc trực tiếp với wafer. Bóng đèn có thể hoạt động trong môi trường có độ sạch cao, không tạo ra bụi bẩn và ít khí thải – điều rất cần thiết để bảo vệ chất lượng sản phẩm ở các công nghệ sản xuất tiên tiến. Độ chính xác cao trong việc kiểm soát nhiệt độ giúp ổn định quy trình sản xuất, đồng thời việc phản ứng nhiệt nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý và tiết kiệm năng lượng. Kết quả là hiệu suất sản xuất ổn định, ít phải làm lại sản phẩm hơn, và thời gian bảo trì cũng dễ dàng được lên kế hoạch.
Hướng dẫn lắp đặt và vận hành
Hãy lên kế hoạch cho hệ thống dây điện phù hợp với tiêu chuẩn của phòng sạch từ trước. Kiểm tra kỹ lưỡng vị trí đặt bóng đèn so với cửa sổ của buồng DNS – nếu sai lệch, độ đồng đều nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Bóng đèn có thể hoạt động ở công suất tối đa một cách ổn định, nhưng tuổi thọ của các nguồn phát sáng vẫn có giới hạn. Hãy lên kế hoạch thay thế bóng đèn đúng thời hạn để tránh tình trạng máy ngừng hoạt động bất ngờ. Trước khi bắt đầu quy trình sản xuất, hãy kiểm tra phiên bản thiết bị DNS để đảm bảo nó phù hợp với quy trình sản xuất, đồng thời kiểm tra xem phạm vi nhiệt độ được thiết lập có phù hợp với yêu cầu hay không.