لیتھوگرافی کے عمل میں، بیکنگ درجہ حرارت میں 0.5°C کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی خصوصیات پر اثر ڈالتا ہے، اور یہ چھوٹا سا فرق بھی پیداوار میں کمی کا سبب بن سکتا ہے۔ ہم نے ایسے آلات تیار کئے ہیں جو ان حالات میں استعمال کئے جاسکتے ہیں جہاں درجہ حرارت کو بالکل درست رکھنا ضروری ہے۔ یہ آلات، وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والے حرارتی آلات اور عمل کے لئے درکار درستگی کے درمیان فرق کو پُر کرتے ہیں، اور ویفر کے لئے ضروری حرارت کو بالکل درست جگہ پر فراہم کرتے ہیں۔
نظام کے اندر کیا اہم چیزیں ہیں؟
یہ نظام دو چھوٹی-لہر والے انفراریڈ ٹیوبوں پر کام کرتا ہے، جن کے ارد گرد کوارٹز کی تہیں ہیں۔ ان ٹیوبوں کی وجہ سے ردِعمل بہت تیز ہوتا ہے، اور درجہ حرارت بھی بالکل درست رہتا ہے۔ روشنی کے زون میں ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور ہر چکر میں درجہ حرارت کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے صاف کمروں کے لئے مناسب ہے، اور اس کے مواد اور جوڑوں کی وجہ سے ذرات کی پیداوار بہت کم ہوتی ہے۔ لیمپ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستحکم رہتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے؛ اس لئے مرمت کے درمیانی وقفوں میں بھی عمل میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، تیز رفتاری سے حرارت فراہم کرنا ضروری ہے، اور یہ حرارت مستقل رہنی چاہیے، تاکہ کوئی نقصان نہ ہو۔ دو ٹیوبوں والا ڈیزائن، تیز رفتاری سے درجہ حرارت کو بحال کرنے میں مدد کرتا ہے، اس لئے بیکنگ کے مراحل کو مختصر کیا جاسکتا ہے، بغیر فلم پر کوئی دباؤ پڑے۔ اس کے نتیجے میں، کرٹیکل ڈائمینشنز کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جاسکتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور ویفر پر حرارت کی تقسیم بھی بہتر ہوتی ہے۔ اس کے علاوہ، توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور جلدی ہی ٹھنڈا ہو جاتا ہے – یعنی بیکار توانائی کی ضائع نہیں ہوتی۔
نصب اور آپریشن کے دوران کیا تیاریاں کرنی چاہئیں؟
نصب کے لئے، خصوصی، محفوظ بجلی کی سپلائی کی ضرورت ہے، اور لیمپ کو صحیح جگہ پر رکھنے کے لئے مناسب فاصلے کی ضرورت ہے۔ یہ لیمپ زیادہ تر معیاری لیتھوگرافی اور کوٹنگ/بیکنگ سسٹموں کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن آلات کے درمیان انٹیگریشن، سینسرز کی ترتیب، اور حفاظتی اقدامات کی بھی ضرورت ہے۔ کم نمی والے ماحول میں، طویل مدتی استحکام بہتر رہتا ہے؛ نم دار ماحول میں، ایسی ترتیبات کی ضرورت ہے کہ کوارٹز کی تہوں پر نمی جم نہ جائے۔