لیتھوگرافی کے عمل میں، وہ 300 ملی میٹر سائز کا ویفر، DNS کلینر سے نکل کر فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے عمل کا انتظار کرتا رہتا ہے۔ اس عمل میں ±0.5 ڈگری سیلسیس کا فرق برداشت نہیں کیا جاسکتا، اور کلین روم میں کسی قسم کے غیرضروری ذرات کی موجودگی بھی برداشت نہیں کی جاسکتی۔ اگر درجہ حرارت میں تھوڑا سا بھی فرق پڑ جائے، تو CD کنٹرول ختم ہو جاتا ہے، اور پیداوار بھی کم ہو جاتی ہے۔
انفراریڈ حرارتی نظام کی درستگی: سب-ملی میٹر سطح پر یکسانیت اور دہرائی کی صلاحیت
DNS اسکرین ویفر ڈرائر لیمپ، مختصر-ترین طول موج والے انفراریڈ اخراج کنندوں پر مبنی ہے؛ یہ اخراج کنندے اس طرح ترتیب دئے گئے ہیں کہ وہ فوٹوریزسٹ کو مناسب طریقے سے گرم کر سکیں۔ اس سے ویفر کی سطح پر سب-ملی میٹر سطح پر یکسانیت حاصل ہوتی ہے، اور درجہ حرارت کو مستقل طور پر کنٹرول کیا جاسکتا ہے۔ کلوزڈ-لوپ کنٹرول سسٹم، درجہ حرارت کو بالکل اسی سطح پر رکھتا ہے جو عمل کے لئے ضروری ہے؛ اس طرح ہر بار ایک ہی نتیجہ حاصل ہوتا ہے۔
DNS میں خشک کرنے اور گرم کرنے کے عمل میں اس کی کارکردگی کیوں اچھی ہے؟
یہ لیمپ، DNS ڈرائنگ ماڈیولوں میں براہ راست استعمال ہوتا ہے، اور بغیر کسی رابطے کے تیز اور صاف حرارت فراہم کرتا ہے۔ یہ کلاس 1–100 کے ماحول میں کام کرتا ہے، جہاں کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور گیس کا اخراج بھی کم ہوتا ہے۔ یہی وہ خصوصیات ہیں جو جدید چپس کی پیداوار کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہیں۔ درجہ حرارت کی یکسانیت سے عمل میں استحکام پیدا ہوتا ہے، اور تیز حرارتی ردِعمل سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں پیداوار میں استحکام، کم وقت میں کام مکمل ہونا، اور دیکھ بھال کے وقفے بھی منصوبہ بند کئے جاسکتے ہیں۔
تنصیب اور آپریشن سے متعلق ہدایات
پہلے ہی کلین روم کے معیارات کے مطابق برقی سرکٹس کی منصوبہ بندی کریں، اور ایمیٹرز کی سمت کو DNS چیمبر کی کھڑکی کے ساتھ درست کریں؛ کوئی غلطی ہونے سے یکسانیت متاثر ہو سکتی ہے۔ یہ لیمپ مکمل طاقت کے ساتھ بھی مستقل طور پر کام کر سکتا ہے، لیکن ایمیٹرز کی عمر محدود ہے۔ اس لئے بروقت تبدیلی کی منصوبہ بندی کریں، تاکہ غیرمتوقع تعطل سے بچا جا سکے۔ استعمال شروع کرنے سے پہلے، DNS ٹول کی نوعیت کی تصدیق کریں، اور یقین کریں کہ حرارتی سیٹپوائنٹ، عمل کے مطابق ہے۔