لیتھوگرافی کے عمل میں، اگر درجہ حرارت میں صرف 0.2°C کا فرق بھی پیدا ہو جائے، تو اس سے سی ڈی میں تبدیلی آ جاتی ہے، جس کی وجہ سے پروڈکشن کی رفتار کم ہو جاتی ہے۔ کوٹر/ڈیولپر سسٹم کو ایسی حرارت کی ضرورت ہے جو فوری طور پر پہنچے، درستجہ حرارت پر قائم رہے، اور جب ویفر نرم/سخت بیکنگ کے عمل سے گزرتا ہے تو یہ حرارت مستقل رہے۔ اگر آئی آر ہیٹر کام نہ کرے، تو اس کی وجہ سے ویفر کو ضائع کرنا پڑتا ہے، دوبارہ کام کرنا پڑتا ہے، اور پروڈکشن میں تاخیر ہوتی ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے یہ کوٹر/ڈیولپر آئی آر ہیٹرز نیئر-انفراریڈ (NIR) تابکاری کی بنیاد پر تیار کیے ہیں؛ اس طرح توانائی براہ راست فوٹوریزسٹ میں پہنچتی ہے۔ اس سے چند سیکنڈوں میں حرارتی ردِعمل حاصل ہوتا ہے، اور بیکنگ زون میں درجہ حرارت ±0.1°C کے درمیان یکساں رہتا ہے۔ درجہ حرارت کی استحکام برقرار رہتا ہے، لہذا ہر بیچ میں یکساں حرارتی حالات پائے جاتے ہیں۔
کوارٹز ایمیٹر ڈیزائن کی وجہ سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، لہذا یہ کلاس 1-100 کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔ کنٹرول سسٹم بند لوپ پر کام کرتا ہے، اور پیمائش کے لئے پروفائلڈ سینسرز استعمال کئے گئے ہیں؛ اس طرح درجہ حرارت ہمیشہ مستقل رہتا ہے۔
یہ کیوں مناسب ہے؟
یہ ہیٹر کوٹر/ڈیولپر سسٹم کے لئے ہی تیار کیا گیا ہے؛ یہ مطلوبہ درجہ حرارت تک جلدی پہنچتا ہے، بیکنگ کے عمل کے دوران اس درجہ حرارت کو برقرار رکھتا ہے، اور مناسب وقت پر ٹھنڈا ہو جاتا ہے؛ اس طرح پروڈکشن کی رفتار متاثر نہیں ہوتی۔ نرم/سخت بیکنگ کے عمل میں درجہ حرارت یکساں رہتا ہے، جس سے سی ڈی کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور کناروں پر مسائل کم ہو جاتے ہیں۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ NIR توانائی صرف ضرورت کے وقت ہی فراہم کی جاتی ہے، اور کم سے کم حرارت ضائع ہوتی ہے۔ پروڈکشن میں اس کی قابلیت ثابت ہو چکی ہے؛ یہ ہیٹر 5,000 گھنٹوں تک کام کر سکتا ہے، اور پروڈکشن میں کم سے کم نقصان ہوتا ہے؛ اس طرح سپلائی کی ضرورت کم ہوتی ہے، مینٹیننس کے وقت کم ہوتے ہیں، اور ہر ویفر کی لاگت کم ہوتی ہے۔
کیا چیزیں درست کرنی ضروری ہیں؟
اس ہیٹر کی تنصیب کے لئے درست آپٹیکل الائنمنٹ اور صاف، عکاس کیوبٹ کی ضرورت ہے۔ اگر یہ چیزیں درست نہ ہوں، تو گرم نقاط اور غیر یکساں درجہ حرارت کی وجہ سے مسائل پیدا ہوں گے۔
یہ ہیٹر معیاری کوٹر/ڈیولپر پلیٹ فارمز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن پھر بھی آپ کو انٹیگریشن کی تفصیلات کی جانچ کرنی ہوگی – مثلاً ماؤنٹنگ، اپرچر، اور کنٹرول انٹرفیس۔ پروڈکشن شروع کرنے سے پہلے، سیٹنگز کی جانچ کریں اور یکساں درجہ حرارت کی تصدیق کریں۔