لائن پر، تھرمل ڈرفٹ کی وجہ سے کوئی الرٹ لائٹ نظر نہیں آتی۔ بلکہ یہ 0.3 مائکرومیٹر کی خطا کی شکل میں ظاہر ہوتا ہے؛ یا پھر فوٹوریزسٹ کے کناروں میں تبدیلی، یا پیکیجنگ کے دوران پیدا ہونے والی تناؤ کی وجہ سے پورا کیریئر خراب ہو جاتا ہے۔ ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو نرم یا سخت حالت میں رکھنے، اور پیکیجنگ کے عمل میں، یہ ہیٹر لیمپ صرف “حرارت کا ذریعہ” نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک پروسیسنگ آلہ بھی ہے۔ جب لیمپ میں کوئی خرابی پیدا ہوتی ہے، تو پروڈکشن کی شرح اور کام کرنے کا وقت متأثر ہوتا ہے۔
جو چیزیں اہم ہیں:
ہم نے ٹی ایل ای ہیٹر لیمپ کو شارٹ-ویو انفراریڈ (SWIR) ہیلوجن سسٹم کے طور پر تیار کیا ہے؛ کوارٹز سے بنا یہ لیمپ، ریفلیکٹر کی مدد سے حرارت کو کنٹرول میں رکھتا ہے۔ اس کے نتیجے میں، بیکنگ زون میں ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور پروسیس کا وقت بھی مناسب رہتا ہے۔ آؤٹ پٹ کی درستگی بہت اچھی ہے، لہذا فوٹوریزسٹ کو مناسب حرارتی حالت میں ہی رکھا جاتا ہے۔ کلین روم میں استعمال ہونے والے مواد اور سیلز کی وجہ سے ذرات کی پیداوار صفر رہتی ہے؛ یہ پیمائش پروسیس چیمبر میں کی جاتی ہے، نہ کہ لیمپ کے خول میں۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ ورک کی مقدار کم ہوتی ہے، فضول مواد کم ہوتا ہے، اور CD کنٹرول بھی بہتر رہتا ہے۔
جہاں یہ لیمپ کارآمد ہے:
یہ لیمپ ان جگہوں پر کارآمد ہے جہاں پروسیس بہت سخت ہے: لیتھوگرافی میں فوٹوریزسٹ کو خشک کرنا، صفائی کے بعد ویفر کو خشک کرنا، اور پیکیجنگ کے عمل میں۔ فوٹوریزسٹ کے لئے، یہ لیمپ نرم اور سخت حالت دونوں میں کام کرتا ہے، اور درجہ حرارت کو مناسب طریقے سے کنٹرول کرتا ہے؛ لہذا بیکنگ کا عمل کوئی مسئلہ نہیں بنتا۔ خشک کرنے کے عمل میں، حرارت تیز اور یکساں ہوتی ہے، لہذا درجہ حرارت کم ہونے کی وجہ سے دوبارہ آلودگی پیدا نہیں ہوتی۔ پیکیجنگ کے عمل میں، کنٹرولڈ حرارت کی وجہ سے خلا یا تناؤ پیدا نہیں ہوتا؛ لہذا پروڈکشن کی رفتار بہتر رہتی ہے۔ یہ لیمپ 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی دیکھ بھال بھی منصوبہ بند طریقے سے کی جاتی ہے، نہ کہ ہنگامی صورتحال میں۔
جو چیزیں مشکلات پیدا کرتی ہیں:
یہ لیمپ کلاس 1-100 کلین روم میں استعمال کے لئے تیار کیا گیا ہے، لیکن اس کی صحیح انسٹالیشن ضروری ہے۔ وولٹیج، کنیکٹر، اور کولنگ سسٹم کو بالکل درست طریقے سے استعمال کرنا ضروری ہے۔ اگر انسٹالیشن یا ہوا کا بہاؤ درست نہ ہو، تو گرم نقاط پیدا ہوں گے، اور لیمپ کی زندگی بھی جلد ختم ہو جائے گی۔
توازن کی ضرورت:
زیادہ پاور ڈینسٹی سے پروسیس تیز ہوتا ہے، لیکن اس کے لئے چیمبر کے حرارتی نظام کو بھی مناسب طریقے سے کنٹرول کرنا ضروری ہے۔ لیمپ کی تبدیلی کو بھی منصوبہ بند طریقے سے کرنا ضروری ہے، نہ کہ ہنگامی صورتحال میں۔