На этапе литографии использование фотополимеров для EUV-процессов требует точного контроля температуры. Если температура во время процесса нагрева будет чуть выше нормы, это приведет к ошибкам при обработке пластины. Вы начинаете терять производительность — постепенно, и это происходит снова и снова на протяжении всего процесса. Компоненты нагревателя должны обеспечивать стабильную температуру независимо от серий производства, без образования частиц или простоев оборудования.
Что имеет значение внутри устройства
Мы используем контролируемые инфракрасные источники света — коротковолновые и средневолновые — в сочетании с кварцевыми окнами и галогеновыми элементами, выбранными за счет их стабильности в спектральном излучении. Это позволяет добиться температурной однородности на поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а также стабильности профилей нагрева. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100; материалы и элементы конструкции выбраны таким образом, чтобы исключить образование частиц во время работы. Мощность и напряжение соответствуют стандартам, а разъемы позволяют использовать устройство в существующих системах нагрева без необходимости перепайки.
Почему это подходит для фотополимеров EUV
Фотополимеры EUV имеют тонкую структуру, поэтому требуется строгий контроль температуры. Важнее всего точность, а не высокая мощность. Мы поддерживаем температуру в тех значениях, которые указаны в технических характеристиках процесса, а не в тех, к которым может привести отклонение температуры. Это позволяет контролировать размеры деталей с высокой точностью, снижает количество дефектов на поверхности пластины, а также обеспечивает стабильную производительность. Кроме того, нагреватель может работать круглосуточно без простоев — без горячих точек, без необходимости в регулярном техническом обслуживании.
Что необходимо учитывать при планировании
Установка устройства происходит просто на стандартных установочных площадках, но устройство должно соответствовать геометрии камеры и пути распространения инфракрасного излучения. Потребуется небольшой период настройки для определения параметров нагрева и проверки однородности температуры на поверхности пластины. Срок службы устройства составляет более 5 000 часов, но все же необходимо регулярно корректировать параметры, чтобы сохранить однородность температуры на всей поверхности пластины. Включите эти процедуры в план эксплуатации — это обеспечит стабильную работу оборудования на протяжении всего времени использования.