На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в 0,2°C может привести к смещению коэффициента CD, что, в свою очередь, снижает качество продукции и ускоряет процесс её изготовления. Устройства для нанесения фоторезиста и его обработки требуют быстрого нагрева, точного поддержания температуры на протяжении всего процесса обработки пластины. Если инфракрасные нагреватели не работают должным образом, это приводит к потерям продукции, необходимости её переработки и задержкам в производстве.
Что важно при использовании таких устройств
Мы спроектировали эти инфракрасные нагреватели с использованием технологии излучения в диапазоне ближнего инфракрасного света. Это позволяет энергии напрямую достигать фоторезиста. Таким образом достигается мгновенная реакция на изменения температуры, а также однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость температуры также контролируется, что гарантирует одинаковые условия обработки для каждой партии продукции.
Кварцевые нагреватели не создают никаких частиц, поэтому идеально подходят для использования в стерильных помещениях класса 1–100. Управление происходит в закрытой системе с использованием калиброванных датчиков; параметры температуры сохраняются стабильными в течение всего времени работы устройства.
Почему это подходит для производственного процесса
Эти нагреватели разработаны с учетом требований процесса нанесения фоторезиста: они быстро достигают заданной температуры, поддерживают её в течение всего процесса обработки и своевременно охлаждająся, тем самым не снижая скорость производства. Профилы нагрева остаются стабильными, что способствует точному контролю коэффициента CD и снижает возникновение проблем с краями пластины.
Потребление энергии снижается благодаря тому, что энергия передается по мере необходимости, с минимальными потерями. Надежность устройств доказана на практике: они могут работать более 5 000 часов с минимальными потерями в производственных показателях. Это означает меньше необходимости в запасных частях, меньше времени на техническое обслуживание и более низкие затраты на производство одной пластины.
Что необходимо учесть при установке
Для правильной установки требуется точное оптическое выравнивание и чистая, отражающая поверхность. В противном случае могут возникнуть «горячие точки» и неоднородность температуры.
Устройства работают с стандартными установками для нанесения фоторезиста, но все же необходимо проверить детали интеграции – способ крепления, размеры отверстий и интерфейс управления – с учетом особенностей вашего оборудования и процесса производства. Перед началом производства рекомендуется провести краткий тестовый запуск, чтобы убедиться в правильности настроек и однородности температуры.