На производственной площадке устройство для промывки и сушки располагается прямо между этапами очистки и нанесения фоторезиста. Даже отклонение температуры на 0,5°C может привести к появлению «водяных отпечатков» на пластине или, что ещё хуже, к размягчению фоторезиста после процедуры высокотемпературной обработки. Мы специально разработали кварцевые нагреватели для использования в таких устройствах, где важны стабильность температуры, чистота и возможность точного контроля параметров.
Что имеет значение с технической точки зрения?
Основой является кварцевый инфракрасный излучатель коротких волн, который обеспечивает быстрое нагревание и точный контроль температуры. Наша цель — достижение однородности температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Устройство может поддерживать температуру в диапазоне от 50°C до 250°C, а время реакции составляет менее 2 секунд. Замкнутый контур управления позволяет сохранять стабильность температуры, что предотвращает повреждение чувствительных структур после процедур эчетчинга и CMP. Корпус устройства изготовлен из кварца высочайшей чистоты, подходящего для использования в помещениях класса чистоты 1–100. Поверхность устройства спроектирована таким образом, чтобы сводить к минимуму образование частиц. Устройство может работать круглосуточно без существенных отклонений температуры.
Почему это подходит для устройства для промывки и сушки?
В устройстве для промывки и сушки необходимо быстрое и равномерное нагревание — достаточное для удаления воды, но при этом не должно происходить разрушения структур на пластине или повреждения фоторезиста. Этот нагреватель обеспечивает стабильность температуры, что позволяет повторять процесс снова и снова, от начальной стадии обработки до завершительной. Это позволяет сократить время цикла, уменьшить количество бракованных изделий, а также снизить энергопотребление благодаря эффективному использованию инфракрасного излучения и небольшой тепломассе устройства.
Примечания по установке
Установка устройства зависит от правильного расположения и соблюдения правил изоляции. Корпус устройства прочный, но хрупкий при механических воздействиях.Необходимо соответствовать спецификациям напряжения и разъемов вашего оборудования. Если устройство находится в условиях высокого уровня электромагнитных помех, необходимо использовать защитные устройства. При правильной установке и аккуратном обращении устройство может служить более 5 000 часов с отклонением температуры менее 5%.