
Het behouden van de veiligheid bij het reinigen van wafers
Wanneer je wafers verwarmt in een chemische reinigingslijn, werk je eigenlijk met vuur – of in ieder geval met stoffen die gemakkelijk kunnen ontploffen. Standaard infraroodlampen zijn niet geschikt voor zulke omstandigheden. Ze zouden een ramp veroorzaken.
Om dit te voorkomen, wikkelen we de verwarmende elementen in een speciaal soort bescherming. Hierdoor blijven de chemische stoffen uit de buurt van de warmtebron, terwijl de warmte toch door kan dringen naar waar het nodig is.
Het geheim zit in de afsluiting
We nemen geen risico’s met vonken. We wikkelen onze kwartstubes in sterke, chemisch resistente hulsjes en gebruiken hermetische afsluitingen op de plekken waar de elektroden met elkaar in contact komen.
Waarom? Omdat als gevaarlijke gassen in de lamp terechtkomen, je te maken krijgt met een enorm probleem. Een defecte afsluiting is niet alleen een technisch probleem; het is ook een risico. Daarom gebruiken we materialen die bestand zijn tegen corrosieve reinigingsmiddelen.
Het juiste niveau van warmte bereiken
Deze verwarmers maken gebruik van kortegolflengte-infraroodstraling. Dit zorgt voor een snelle verwarming. De wafers hoeven dus niet lang in die ‘gevaarlijke zone’ van temperatuurschommelingen te blijven. We hebben veel tijd besteed aan het instellen van de vermogenssterkte, zodat de wafers op de juiste temperatuur komen zonder dat de behuizing beschadigd raakt. Let erop dat de stroomvoorziening precies overeenkomt met de spanning van de lamp. Anders riskeer je een te vroeg defect.
Installatie en onderhoud
We hebben deze apparaten zo ontworpen dat ze als vervanging kunnen dienen voor uw huidige reinigingsmodules. Eerlijk gezegd zijn ze wat groter dan een gewone lamp. Dat is de prijs die je betaalt voor de explosieveiligheid. Controleer eerst of er genoeg ruimte is voordat je ze installeert.
Zodra ze geïnstalleerd zijn, moet je goed opletten of er geen scheuren in de hulsjes zitten. Als dat wel het geval is, moet je de lamp onmiddellijk weer uithalen.
We hebben ook verstevigde connectors gebruikt, omdat de reinigingsapparatuur erg trilt. We willen absoluut geen losse draden die een vonk kunnen veroorzaken in een ruimte vol vluchtige chemicaliën. Dat is gewoon gezond verstand.