웨이퍼 세척 건조기용 석영 히터

팹 내에서는 리인스 드라이어가 클린 공정과 리소그래피 공정 사이에 위치해 있습니다. 단 0.5°C만의 온도 변동도 웨이퍼에 워터마크를 남길 수 있으며, 더 심각한 경우에는 하드 베이크 과정 이후 포토레지스트가 재유동될 수도 있습니다. 우리는 바로 이러한 리인스 드라이...