UHP 超高純度 ヒーターランプ

では、ランプの破損やウェーハの汚染について話しましょう。 半導体製造の現場において、ランプが破損することは大変な問題です。単にハードウェアが壊れるだけでなく、それによって生じる混乱も問題です。重負荷の下で石英管が壊れると、ウェーハに破片や微粒子が付着してしまいます。これは生産効率にとって大きな打撃...