लिथोग्राफी प्रक्रिया में, 0.2°C जितना भी तापमान-परिवर्तन होता है, उससे CD में परिवर्तन हो जाता है; इससे उत्पादन में देरी हो जाती है। कोटर/डेवलपर उपकरणों को ऐसी ऊष्मा की आवश्यकता होती है जो तेज़ी से पहुँचे, सटीक रूप से स्थिर रहे, एवं वेफर के सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक चरणों के दौरान भी स्थिर रहे। यदि IR हीटर काम न करें, तो इसका परिणाम अपशिष्ट उत्पाद, पुनर्कार्य, एवं अनपेक्षित बंदपन के रूप में सामने आता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इन कोटर/डेवलपर IR हीटरों को नियर-इन्फ्रारेड (NIR) विकिरण के आधार पर डिज़ाइन किया है; इससे ऊर्जा सीधे फोटोरेसिस्ट में पहुँचती है। इससे सेकंडों में ही तापमान में परिवर्तन हो जाता है, एवं बेक ज़ोन में तापमान ±0.1°C की सीमा में ही रहता है। तापमान में निरंतरता बनी रहती है; इससे हर बैच में एक ही तापमान प्राप्त होता है।
क्वार्ट्ज एमिटर डिज़ाइन के कारण कोई कण उत्पन्न नहीं होता; इसलिए ये हीटर क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकते हैं। नियंत्रण प्रणाली बंद-लूप है; सेंसरों की मदद से तापमान स्थिर रहता है।
यह क्यों उपयुक्त है?
ये हीटर कोटर/डेवलपर उपकरणों की आवश्यकताओं के अनुरूप ही डिज़ाइन किए गए हैं – ये तेज़ी से लक्षित तापमान तक पहुँचते हैं, बेक चरणों के दौरान उसी तापमान को बनाए रखते हैं, एवं समय पर ही ठंडे हो जाते हैं। इससे उत्पादन में कोई बाधा नहीं आती। सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं में एकरूपता बनी रहती है; इससे CD नियंत्रण में सुधार होता है, एवं किनारों पर समस्याएँ कम हो जाती हैं।
ऊर्जा की खपत कम होती है, क्योंकि NIR ऊर्जा केवल आवश्यकतानुसार ही दी जाती है; इससे बर्बाद होने वाली ऊर्जा कम हो जाती है। उत्पादन में इन हीटरों की विश्वसनीयता साबित हो चुकी है – ये 5,000+ घंटों तक काम कर सकते हैं, जिससे वेफर प्रति खर्च कम हो जाता है।
क्या करना आवश्यक है?
स्थापना हेतु सटीक ऑप्टिकल संरेखण एवं स्वच्छ, परावर्तक संरचना आवश्यक है। यदि ऐसा न हो, तो गर्म बिंदु एवं असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं।
ये हीटर मानक कोटर/डेवलपर उपकरणों के साथ काम कर सकते हैं; लेकिन आपको अपनी विशिष्ट मशीन एवं प्रक्रियाओं के अनुसार इनके एकीकरण की जाँच करनी होगी। उत्पादन शुरू करने से पहले सेटपॉइंटों की जाँच करें, एवं एकरूपता की पुष्टि करें।