सटीक आईआर हीटिंग के द्वारा कार्बन उत्सर्जन कम करना
जब आप सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों में काम करते हैं, तो तापमान केवल एक सेटिंग ही नहीं होता… बल्कि यही सब कुछ है। थोड़ी भी त्रुटि होने पर पूरा उत्पाद बेकार हो जाता है।
हमने पाया कि शॉर्ट-वेव आईआर हीटिंग ही सबसे अच्छा विकल्प है। क्यों? क्योंकि इससे वेफर के आसपास की हवा गर्म नहीं होती… ऊर्जा सीधे सब्सट्रेट में ही जाती है। यही वह तरीका है जिससे ऊर्जा-खर्च एवं कार्बन उत्सर्जन कम होता है।
रहस्य तो घनत्व में ही है।
विचार कीजिए… उच्च-वॉटेज वाले आईआर लैंप, लक्षित तापमान तक पहुँचने में कुछ ही सेकंड लेते हैं… मिनट नहीं। इससे समय एवं ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती। हम इन सिस्टमों को ऐसे ही सेट करते हैं कि ऊर्जा सीधे सिलिकॉन में ही जाए… न कि चैंबर की दीवारों में।
लेकिन इसमें कुछ चुनौतियाँ भी हैं।
ऊष्मा को हर जगह न फैलने देने हेतु, हम क्वार्ट्ज एनवेलपमेंट एवं सटीक रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। यह तो बहुत ही अच्छा तरीका है… लेकिन ऐसे सिस्टमों में लैंपों पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि वोल्टेज में थोड़ी भी व्यवधान हो जाए, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाते हैं। इसलिए ऐसे सिस्टमों के लिए बहुत ही मजबूत पावर सप्लाई आवश्यक है।
“ग्रीन फैक्ट्री” लक्ष्यों हेतु यह कितना फायदेमंद है?
पुराने तरह की रेजिस्टिव हीटिंग प्रणालियों के बजाय सटीक आईआर हीटिंग का उपयोग करने से पृथ्वी को बहुत लाभ होता है। अब आपको उन बड़े-बड़े ओवनों की आवश्यकता ही नहीं है… क्योंकि वे अपना अधिकांश समय बेकार ही ऊष्मा उत्पन्न करने में ही बिताते हैं।
सब कुछ तेजी से होता है… उत्पादन का समय कम हो जाता है, बिजली का खर्च भी कम हो जाता है… एवं संयंत्र की शीतलन प्रणाली पर भी कम दबाव पड़ता है।
यह तो वाकई एक बेहतरीन समाधान है… आप अपने कार्बन-न्यूट्रलिटी लक्ष्यों को पूरा कर सकते हैं… एवं उत्पादन की गति में कोई कमी भी नहीं आएगी।