लिथोग्राफी प्रक्रिया में, EUV रेजिस्ट के संसाधन हेतु तापीय विचलन को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। यदि हीटिंग प्रक्रिया में थोड़ी भी तापमान-वृद्धि हो जाए, तो वेफर पर असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं। ऐसी स्थिति में उत्पादन दक्षता कम हो जाती है… और यह समस्या लगातार बनी रहती है। रेजिस्ट के नीचे मौजूद हीटरों को हर बार एक ही तापमान प्रदान करना होता है… बिना किसी कण-निर्माण या बंद होने की समस्या के।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम EUV रेजिस्ट हीटरों को नियंत्रित इन्फ्रारेड स्रोतों के साथ बनाते हैं… छोटी-मध्यम तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड स्रोतों के साथ… एवं क्वार्ट्ज विंडोज एवं हैलोजन तत्वों का उपयोग करके… ताकि स्थिर स्पेक्ट्रल आउटपुट प्राप्त हो सके। इससे रेजिस्ट की सतह पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर… एवं हीटिंग प्रक्रिया भी नियंत्रित रहती है। यह हीटर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी इस्तेमाल किया जा सकता है… एवं ऐसी सामग्रियों का उपयोग किया जाता है जिससे संचालन के दौरान कोई कण न बने। आउटपुट, मानक वोल्टेज/पावर मानकों के अनुरूप होता है… एवं कनेक्टर भी मौजूदा हीटिंग सिस्टमों के अनुरूप ही होते हैं… इससे कोई विशेष परिवर्तन की आवश्यकता नहीं पड़ती।
EUV रेजिस्ट के लिए यह व्यवस्था क्यों उपयुक्त है?
EUV रेजिस्ट पतले होते हैं… इसलिए तापमान-नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। सटीक तापमान ही महत्वपूर्ण है… न कि अधिक शक्ति। हम हीटिंग तापमान को उसी स्तर पर रखते हैं जो प्रक्रिया-मानकों के अनुसार है… न कि विचलन के कारण उत्पन्न होने वाले तापमान पर। इससे कमियाँ कम हो जाती हैं… एवं उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है। इसके अलावा, हीटर 24/7 काम करता है… बिना किसी रुकावट के… बिना किसी तापमान-विचलन के… बिना किसी रखरखाव की आवश्यकता के।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
इसकी स्थापना मानक हीटिंग सिस्टमों में आसानी से की जा सकती है… लेकिन हीटर को चेम्बर की ज्यामिति एवं इन्फ्रारेड पथ के अनुरूप ही होना चाहिए। हीटिंग प्रक्रिया को ठीक करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… ताकि तापमान-स्थिरता सुनिश्चित हो सके। इसकी सेवा-अवधि लंबी होती है… 5,000+ घंटे… लेकिन फिर भी नियमित कैलिब्रेशन आवश्यक है… ताकि वेफर के व्यास पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। ऐसी व्यवस्था ही लगातार स्थिर EUV उत्पादन हेतु आवश्यक है।