इस प्रक्रिया में, तापमान कोई सुझाव नहीं है – बल्कि यही प्रक्रिया का महत्वपूर्ण हिस्सा है। फोटोरेजिस्ट को नरम अवस्था में गर्म करने के दौरान 0.5°C का बदलाव भी क्रिटिकल आयामों में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है। उच्च-मात्रा में उत्पादन करने वाले कारखानों में, ऐसा बदलाव केवल सैद्धांतिक ही नहीं रहता – बल्कि इसके कारण उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं।
हमने अपने सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए ऐसे हीटर विकसित किए हैं, ताकि ऐसी परिस्थितियों में भी तापमान को नियंत्रित रखा जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) एमिटरों का उपयोग करते हैं; ऐसे एमिटरों से तापीय प्रतिक्रियाएँ तेज़ एवं सीधी होती हैं। इससे डायनामिक बेकिंग प्रक्रियाओं के दौरान तापीय विलंब कम हो जाता है। वेफर के संपूर्ण क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर रहती है, जबकि बार-बार प्रक्रिया चलाने पर भी तापमान की एकरूपता ±0.05°C के भीतर ही रहती है। नियंत्रण प्रणाली “क्लोज्ड-लूप” है; सेंसरों को वेफर एवं सब्सट्रेट की तापीय विशेषताओं के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है।
यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ही डिज़ाइन किया गया है – गर्म क्षेत्र में कोई कण ही नहीं उत्पन्न होते, एवं सामग्रियों का चयन भी गैस उत्सर्जन को नियंत्रित करने हेतु ही किया गया है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक उत्पादन करने पर भी तापमान में 5% से कम ही बदलाव होता है।
यह कारखानों में क्यों उपयोगी है?
ये हीटर, फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रियाओं में आने वाली तापीय समस्याओं को दूर करते हैं – जैसे कि नरम/कठोर बेकिंग प्रक्रियाएँ। तापमान की एकरूपता से वेफर पर उत्पादों का वितरण बेहतर हो जाता है, पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में तापीय प्रोफाइल भी अधिक स्थिर रहता है।
तेज़ तापमान विनियमन से बेकिंग प्रक्रियाएँ जल्दी ही पूरी हो जाती हैं; इससे उन्नत प्रौद्योगिकियों में ऊर्जा की बचत होती है। विश्वसनीयता के लिए यह सिस्टम 24/7 कार्य करने के लिए ही डिज़ाइन किया गया है।
आपको पहले ही क्या जानना आवश्यक है?
NIR हीटर, प्रकाश-मार्ग संबंधी परिस्थितियों के प्रति संवेदनशील होते हैं। परावर्तन एवं अवशोषण, वेफर के रंग, वेफर की पिछली सतह पर मौजूद परतों, एवं उपकरणों की ज्यामिति के कारण बदल जाता है। इसलिए हम आपके वास्तविक उपकरणों एवं प्रक्रियाओं का उपयोग करके ही परीक्षण करते हैं।
इस सिस्टम को एकीकृत करना आसान है; लेकिन तापीय संयोजन को भी इंस्टॉलेशन प्रक्रिया का ही हिस्सा मानना होगा। सेंसरों की स्थापना एवं एमिटन्स का निर्धारण ही प्रदर्शन का आधार है। एक बार परीक्षण पूरा हो जाने के बाद, प्रक्रिया नियमित रूप से ही चलती रहती है।