בשלב הייבוש לאחר תהליך CMP, סימני מים והצטברות של חלקיקים עדיין פוגעים באיכות המוצר הסופי. ברוב המקרים, הגורם לבעיה הוא פרופיל תרמי לא יציב במהלך הייבוש. ייצרנו את מכשיר החימום שלנו כך שיפחית את השינויים האלו – ולא יוסיף להם.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים ברכיבי אינפרא-אדום באורך גל קצר, שנמצאים מאחורי חלון קוורץ. כך, האנרגיה פוגעת ישירות בוופר, במהירות – בלי לפגוע בחומר שעליו הוופר נמצא. באזור הפעיל, אנו שומרים על אחידות טמפרטורה של ±0.1°C, והחזריות נשמרת מכיוון שמערכת בקרה מדויקת עוקבת אחר הטמפרטורה האמיתית בזמן אמת. המכשיר מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והחומרים והחוסמים שלו נבחרו כך שיונעו היווצרות של חלקיקים, כשהמערכת נמצאת במצב יציב.
למה זה עובד בשלב הייבוש לאחר CMP? המשימה פשוטה: להסיר את שכבת הניקוי בצורה נקייה, מהירה, ובלי שיישארו שאריות. שליטה תרמית קפדנית גורמת לכך שמתח פני השטח יהיה זהה בכל פעם – דבר שמפחית את הפגמים.
אותה יציבות חשובה גם בשלב היישום של החומרים השונים. פרופילי החימום נשארים קבועים, כך שאין שינויים בממדים החשובים של המוצר. המכשיר פועל 24/7, ללא הפסקות, מה שמאפשר עבודה רציפה ותחזוקה צפויה.
דברים שכדאי לדעת מראש: ההתקנה כוללת התאמה של גאומטריית החדר, וכן תקינה נכונה של מערכות הקירור והפליטה. אנו מספקים את השרטוטים הדרושים, אך עדיין יש צורך בבדיקה על הקרקע.
יש לתכנן זמן התחממות קצר, כדי להגיע למצב של שיווי משקל תרמי לפני הייצור הראשון. זו התמורה שצריך לשלם עבור החזריות הרצויה. לאחר שהמכשיר מותקן כראוי, הוא שומר על השליטה התרמית ומאפשר עבודה יציבה.