בחדר הייצור, מכשיר השטיפה והייבוש נמצא ממש בין שלב הניקוי לשלב ההדפסה. שינוי טמפרטורה של אפילו 0.5°C עלול לגרום להיווצרות “סימני מים” על הוופר – או, במקרים חמורים יותר, לגרום להתמוססות של החומר הפוטורזיסטי לאחר החימום. ייצרנו את החימום בעזרת קוורץ, במיוחד עבור אזור זה של מכשיר השטיפה והייבוש – שם חשובים מאוד התגובה התרמית, רמת הניקיון והאפשרות לחזרה על אותו תהליך שוב ושוב.
מה חשוב מבחינה טכנית? הליבה של המכשיר היא גוף פליטת קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, שנבחר בגלל היכולת שלו להעניק חימום מהיר ומדויק. אנו שואפים ליצירת אחידות טמפרטורית של ±0.1°C על פני כל שטח הוופר, עם ערכי טמפרטורה יציבים בין 50°C ל-250°C, ותגובה מהירה של פחות מ-2 שניות. שליטה במעגל סגור מבטיחה שהטמפרטורה תישמר בצורה יציבה, כך שלא יינזקו המבנים העדינים שנמצאים על הוופר לאחר החימום. החומר ממנו עשוי המכשיר הוא קוורץ ברמת טוהר גבוהה מאוד, המתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100. המשטח של המכשיר מעוצב כך שיפחית את ייצור החלקיקים, והוא יכול לפעול 24/7 ללא שינויים בטמפרטורה, מה שמונע צורך בכיול מחדש.
למה זה מתאים למכשיר השטיפה והייבוש? במכשיר השטיפה והייבוש נדרש חימום מהיר ואחיד – מספיק כדי להסיר את מי השטיפה, מבלי לפגוע במבנים שעל הוופר או בחומר הפוטורזיסטי. החימום הזה מאפשר שמירה על ערך טמפרטורה קבוע, כך שהתהליך יכול להתרחש שוב ושוב, משלב החימום הרך ועד החימום החזק. כתוצאה מכך, זמני העיבוד קצרים יותר, יש פחות פסולת, וצריכת האנרגיה נמוכה יותר, בזכות החיבור היעיל של קרינת האינפרא-אדום והמסה התרמית הנמוכה של המכשיר.
הערות להתקנה ההתקנה כוללת קביעת הזווית הנכונה של המכשיר ושמירה על מרחק מסוים בינו לבין הוופר. המעטפת של המכשיר עמידה, אך היא עלולה להישבר אם יהיה לחץ מכני עליה. יש להתאים את המתח והחיבורים למפרט של הציוד, ויש להבטיח הגנה מפני שדות אלקטרומגנטיים חזקים, אם המכשיר נמצא בסביבה כזו. עם התקנה נכונה וטיפול זהיר, ניתן לצפות לתקופת שימוש של 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועי המכשיר.