בתהליך הייצור, הטמפרטורה אינה עוד גורם שניתן לשנותו – היא חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של החומר ברמה של ננומטרים. במפעלים בעלי קיבולת גבוהה, שינוי כזה אינו נשאר תיאורטי – הוא מתבטא בחומרים שאינם ראויים לשימוש.
בנינו את מערכת החימום שלנו כך שההתנהגות התרמית תהיה צפויה, במיוחד במקומות בהם התהליך אינו סלחן.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגופי פליטה באור אינפרא-אדום באורך גל קצר, שמגיבים במהירות לשינויים בטמפרטורה, כך שניתן להפחית את העיכובים התרמיים במהלך שלבי החימום. בכל שטח הווה-טסט, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.05°C. השליטה בטמפרטורה נעשית באמצעות מכשירי מדידה מדויקים, שמותאמים למאסה התרמית של החומרים ושל המשטחים עליהם הם נמצאים.
המערכת מותאמת לחדרי ייצור מסוג Class 1–100: האזור החם אינו יוצר שום חלקיקים, והחומרים נבחרו בקפידה כדי למנוע פליטת גזים. יציבות הטמפרטורה נשמרת לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמת החימום של פחות מ-5%.
למה זה מתאים למפעלי ייצור? מערכת החימום הזו מטפלת בבעיות התרמיות בתהליך הפוטורזיסט – חימום, ייבוש וכו’. אחידות הטמפרטורה משפיעה על איכות החומרים המיוצרים. כך ניתן להשיג חלוקה אחידה יותר של החומרים על פני הווה-טסט, ולהפחית את מספר החומרים שצריך לעבוד מחדש. כמו כן, ניתן להשיג פרופילים תרמיים אחידים יותר בתהליך הליתוגרפיה.
החימום המהיר מקצר את משך שלבי החימום, מבלי לגרום לעלייה חריגה בטמפרטורה. כך ניתן לשמור על האנרגיה הדרושה לתהליך, ולא לבזבז אותה על חימום הסביבה. המערכת מתאימה לפעולה 24/7, עם זמני תחזוקה שתואמים את לוח הזמנים המתוכנן, ולא להפסקות חירום.
מה צריך לדעת מראש? גופי החימום באור אינפרה-אדום רגישים לתנאי האור. החזרה והספיגה של האור משתנים בהתאם לצבע החומרים, לשכבות שעל גבי הווה-טסט ולגאומטריה של הציוד. לכן, אנו מבצעים בדיקות ראשוניות באמצעות החומרים האמיתיים שמשמשים בייצור.
ההתקנה של המערכת פשוטה, אך יש להתחשב בגורמים תרמיים במהלך ההתקנה. יש לוודא שהחיישנים ממוקמים במקום הנכון, ושהם מותאמים לתנאים התרמיים של המערכת. יש לתכנן בדיקה אחת ראשונית; לאחר מכן, התהליך יתנהל באופן עקבי, ללא תלות בנסיבות.