מחמם אינפרא אדום ליישום חומר הציפוי

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של רק 0.2°C בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי במידות CD, לבעיות בהדבקת החומר על הוואפר, ולירידה מהירה באיכות התוצרת. לכן, למכשירי...