בתהליך הליתוגרפיה, עיבוד ה- EUV Resist אינו סובל שום סטיות תרמיות. אם החימום נעשה בטמפרטורה גבוהה יותר במעט, זה עלול לגרום לסטיות באיכות המוצר – בצורה חרישית, ובאופן שחוזר על עצמו משימוש לשימוש. רכיבי החימום שנמצאים מתחת ל- EUV Resist חייבים לאפשר טמפרטורה קבועה, לאורך כל התהליך, מבלי ליצור חלקיקים או לגרום לעצירות בתהליך העבודה.
מה חשוב באמת? אנו בונים את רכיבי החימום של EUV Resist על בסיס מקורות אינפרא-אדום מבוקרים – בעלי גלים קצרים ובינוניים – בשילוב עם חלונות קוורץ ורכיבי הלוגן שנבחרו בגלל היציאה הסטבילית שלהם. התוצאה היא אחידות תרמית ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C על פני כל שטח ה- EUV Resist. כמו כן, פרופילי החימום חוזרים על עצמם באופן קבוע. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי עבודה מסוג Class 1–100, והחומרים והטכנולוגיות שנבחרו מונעים יצירת חלקיקים במהלך העבודה. ההספק של המערכת תואם את הערכים הסטנדרטיים של המתח וההספק, ואפשרויות החיבור שלה מתאימות למערכות הקיימות, כך שאין צורך בשינויים בחיבורים.
למה זה עובד עבור EUV Resist? שכבות ה- EUV Resist דקות מאוד, והטווח התרמי שבו הן יכולות לפעול הוא מוגבל. לכן, חשובה מאוד הדיוק בטמפרטורה. אנו שומרים על הטמפרטורה הנדרשת לפי ההנחיות של התהליך, ולא נותנים לסטיות תרמיות להשפיע על התהליך. זה מאפשר שליטה טובה יותר בממדים החשובים של הוואפר, וכן יוצר איכות מוצר טובה יותר. חשוב גם שהמערכת תפעל 24/7, ללא עצירות לא צפויות – בלי נקודות חם, בלי בעיות בחיבורים, ובלי צורך בתחזוקות לא צפויות שעלולות לעכב את העבודה.
מה צריך לקחת בחשבון? ההתקנה פשוטה על מערכות סטנדרטיות, אך רכיבי החימום חייבים להתאים לגאומטריה של החדר ולמסלול האינפרא-אדום. יש צורך בבדיקות קצרות כדי לוודא שפרופילי החימום תקינים ושהאחידות בטמפרטורה נשמרת. זמן השימוש של המערכת ארוך – 5,000 שעות ויותר – אך עדיין יש צורך בכיול תקופתי כדי לשמור על אחידות הטמפרטורה. יש לכלול את הכיול הזה בלוח הזמנים של העבודה – כך ניתן יהיה להבטיח חשיפות יציבות של EUV Resist, משימוש לשימוש.