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Lampe de séchage de wafer en gros
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Chauffage pour séchage des wafers après CMP
En phase de séchage post-CMP, les marques d’eau et la redistribution des particules continuent d’affecter négativement la qualité du produit fini. Le...
Lampe de séchage à écran flexible fab
Sur la ligne d’affichage flexible, les charnières de rendement dépendent du contrôle thermique. Un Soft Bake qui dérive même de 2°C perturbe...