Laisser de côté l’air chaud au profit du chauffage infrarouge pour le séchage des wafers MEMS
Pendant longtemps, la méthode standard pour sécher les wafers de capteurs MEMS consistait simplement à souffler de l’air chaud sur eux. C’était une méthode traditionnelle : on s’appuyait sur la convection pour faire circuler la chaleur à la surface du wafer, dans l’espoir que l’humidité s’évapore.
Le problème ? C’est extrêmement lent. Il faut attendre des minutes avant que l’air ne pénètre vraiment dans les petites structures présentes sur le wafer. C’est un goulot d’étranglement qui ralentit considérablement le processus de séchage.
C’est pourquoi nous avons opté pour le chauffage infrarouge. Au lieu de chauffer l’air, le chauffage infrarouge envoie directement l’énergie vers le wafer.
Pourquoi c’est bien plus rapide
Imaginez : le chauffage infrarouge cible directement les molécules d’eau. L’énergie agit sur elles, et l’eau disparaît presque instantanément. Vous n’avez pas besoin d’un ventilateur pour faire circuler la chaleur. Cela permet de passer d’un processus lent à un processus beaucoup plus rapide. Dans une ligne de production réelle, cela transforme une attente de plusieurs minutes en quelques secondes à peine. C’est un vrai avantage pour le temps de traitement.
Les défis
Il ne suffit pas de remplacer le chauffage classique par une lampe infrarouge. Le chauffage infrarouge est très puissant. Si les lampes ne sont pas correctement positionnées ou si la puissance est trop élevée, cela peut provoquer des dommages au wafer. Il est donc nécessaire d’utiliser un contrôleur PID fiable pour gérer cette augmentation de puissance.
Généralement, nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes. Ils pénètrent profondément dans la surface du wafer, ce qui permet de sécher rapidement les résidus sans endommager tout le substrat.
Faire fonctionner l’équipement
Votre plan de travail va également changer. Les lampes infrarouges occupent beaucoup moins d’espace que ces gros ventilateurs et tous les tuyaux associés. Mais faites attention à la puissance utilisée. Vous remplacez un moteur de ventilateur par un ensemble de lampes à haute puissance. Assurez-vous que votre source d’énergie puisse gérer cette augmentation de puissance lorsque le système commence à fonctionner.
Lorsque vous augmentez la production de MEMS, ces quelques secondes économisées par wafer se transforment en gains importants à la fin de la journée de travail. C’est simplement une question de changement de logique : plutôt que de faire circuler de l’air, on fait circuler des photons.