Sur la ligne d’affichage flexible, les charnières de rendement dépendent du contrôle thermique. Un Soft Bake qui dérive même de 2°C perturbe l’uniformité du CD. Un Hard Bake qui fonctionne trop chaud ou trop froid rend le profil de résine imprévisible, et le transfert de gravure devient irrégulier. La lampe de séchage ne peut pas être simplement une source de chaleur : elle doit se comporter comme un véritable instrument de processus.
Ce qui compte en coulisses : nous avons conçu la lampe de séchage autour de la NIR, avec des optiques en quartz pour un chauffage rapide et sans contact. Dans la zone éclairée, l’uniformité au niveau du wafer reste à ±0,1°C, donc chaque Soft Bake et Hard Bake bénéficie du même budget thermique. Elle est conçue pour une salle blanche de Classe 1-100 : faible dégazage et zéro génération de particules en fonctionnement stable. La lampe peut fonctionner 24/7 avec une sortie prévisible, et la répétabilité est maintenue d’un lot à l’autre.
Pourquoi cela fonctionne dans les usines d’affichage flexible : les substrats sont fins et thermiquement sensibles. La lampe augmente rapidement la température tout en restant précise sur le contrôle, ce qui réduit le temps de cycle sans stresser la pile. Les profils de photo-résine restent stables, ce qui maintient le décalage dans les spécifications et le contrôle des dimensions critiques de gravure de manière cohérente. La consommation d’énergie diminue car la lampe ne chauffe que la zone cible, et moins de lots de retouche signifient moins de déchets.
Voici ce qu’il faut garder à l’esprit. La lampe nécessite une alimentation électrique propre et stable ainsi qu’une gestion thermique appropriée au point d’intégration. Elle est compatible avec la plupart des pistes de lithographie et de revêtement, mais vous devez confirmer l’interface de montage et les signaux de contrôle lors de l’installation. Prévoyez un court cycle de mise en service pour verrouiller les recettes de Soft Bake et Hard Bake, puis qualifiez la fenêtre de processus avant de lancer la production en volume.