در کارخانههای تولید، فرآیند حرارت دادن فوتورزیست نه یک پیشنهاد است، بلکه بخشی از الزامات حرارتی ضروری محسوب میشود. تغییر ۲ درجه سانتیگراد در دمای حرارت دادن میتواند منجر به تغییر ابعاد مهم قطعات شود؛ همچنین میتواند باعث ایجاد لکهها و تبدیل بخش زیادی از محصولات به ضایعات شود. لولههای گرمایشی کوارتزی، کمک میکنند تا این الزامات حرارتی در طول فرآیندهای مختلف حفظ شوند.
آنچه در پشت صحنه اهمیت دارد:
ما این لولههای گرمایشی کوارتزی را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط حرارتی سخت کارخانههای تولید کار کنند؛ یعنی پاسخ سریع، خروجی پایدار، حتی در شرایطی که درب کارخانه مدام باز و بسته میشود. امواج مادون قرمز کوتاه، گرما را دقیقاً در جایی که نیاز است، یعنی در منطقه فرآیند، تولید میکنند. کاهش انرژی حرارتی نیز به معنای امکان انجام فرآیندهای حرارتی با دقت بیشتر است.
در سراسر طول لوله، یکنواختی دما در سطح ویفر حدود ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین هر دسته از ویفرها، همان پروفایل دمایی را خواهند داشت. بدنه کوارتزی نیز به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ این امر به حفظ استانداردهای سالنهای پاک کمک میکند. در شرایط واقعی، این دستگاهها میتوانند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت در شرایط کاری سخت کار کنند و همچنان دقت خروجی خود را حفظ کنند.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟
در خطوط لیتوگرافی، فرآیند حرارت دادن فوتورزیست باید در ساعت ۲ صبح نیز به همان دقتی که در ساعت ۲ بعدازظهر انجام میشود، انجام شود. این لولهها دمای فر را به سرعت تنظیم میکنند؛ بنابراین زمان گرم شدن و بازیابی دما کاهش مییابد، بدون اینکه دقت فرآیند کاهش یابد.
این امر منجر به تولید تعداد بیشتری از محصولات در هر روز، کاهش تعداد محصولات بازسازیشده، و کاهش ضایعات میشود. همچنین، از نظر انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ زیرا گرمایشکن به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را با تغییرات کمی حفظ میکند. وقتی که فرآیندهای حرارت دادن در سطح ویفرها، دستههای مختلف، و ابزارهای مختلف یکنواخت باشد، پنجره فرآیندی گستردهتری فراهم میشود.
جزئیات عملی:
نصب این لولهها ساده است، اما باید این لولهها با رابطهای فر کارخانه سازگار باشند. باید فاصله بین براکتهای نصب، نوع بلوکهای ترمینال، و نوع ترموکوپل و محدودیتهای PID کنترلکننده را در نظر گرفت. باید با لولههای کوارتزی مانند یک قطعه حساس رفتار کرد؛ یعنی بدون تماس، و همچنین باید همه چیز تمیز نگه داشته شود. همچنین باید به انبساط حرارتی و جهت جریان هوا توجه کرد تا از ایجاد نقاط گرم در محصول جلوگیری شود. کارکرد در محیطی خشک و دارای گاز تصفیهشده، عمر لولهها را افزایش میدهد، بهویژه در کارخانههایی که رطوبت بالایی دارند.