در فرآیند لیتوگرافی، حتی تغییر دمای ۰.۲ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث تغییراتی در CD شود؛ این امر منجر به کاهش کیفیت محصول و افزایش هزینهها میشود. خطوط رنگآمیزی/توسعه نیاز به گرمایی دارند که به سرعت اعمال شود، به طور دقیق تثبیت شود و در طول فرآیند گرمایش، دما ثابت بماند. وقتی که هیترهای مبتنی بر امواج مادون قرمز عملکرد خوبی نداشته باشند، شما باید هزینههای ناشی از محصولات نامرغوب، تعمیرات مجدد و توقفات غیرمنتظره را پرداخت کنید.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما این هیترهای مبتنی بر امواج مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که انرژی مستقیماً به رزیست فوتوگرافیک منتقل شود. این امر منجر به پاسخ گرمایی در مدت زمان کمتر از یک ثانیه و یکنواختی دمایی در سطح ویفر میشود. تکرارپذیری دما نیز کنترل شده است؛ بنابراین هر محموله از ویفرها، یک سطح گرمایی یکسان خواهد داشت.
طراحی این هیترها به گونهای است که هیچ ذرهای تولید نشود؛ بنابراین میتوان آنها را در اتاقهای استریل کلاس ۱-۱۰۰ استفاده کرد. کنترل این هیترها به صورت حلقه بسته انجام میشود؛ سنسورهای دقیق و تنظیمات مناسب، باعث میشود دما در تمام طول فرآیند ثابت بماند.
چرا این هیتر برای فرآیند کاری مناسب است؟
این هیتر برای فرآیند رنگآمیزی/توسعه طراحی شده است؛ دمای مورد نظر را به سرعت به دست میآورد، آن را در طول فرآیند گرمایش حفظ میکند و سپس به طور مناسب سرد میشود؛ بنابراین باعث کاهش تأخیر در فرآیند تولید میشود. پروفایلهای گرمایشی نیز یکنواخت باقی میمانند؛ این امر باعث کنترل بهتر CD و کاهش مشکلات مربوط به لبههای ویفر میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی مادون قرمز به صورت دقیق و بدون اتلاف، تحویل داده میشود. قابلیت اطمینان این هیترها در فرآیند تولید ثابت شده است؛ این هیترها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کاهشی در کیفیت محصول ایجاد شود؛ این امر باعث کاهش نیاز به قطعات یدکی، کاهش زمان تعمیرات و کاهش هزینههای تولید میشود.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شود؟
نصب این هیترها نیازمند تنظیمات دقیق اپتیکی و یک فضای تمیز و بازتابدهنده است. اگر این شرایط رعایت نشوند، مشکلاتی مانند نقاط گرم و عدم یکنواختی دما ایجاد خواهد شد.
این هیترها با پلتفرمهای استاندارد رنگآمیزی/توسعه سازگار هستند؛ اما هنوز هم باید جزئیات مربوط به اتصال، اپراتور و رابط کنترل را بر اساس ماشین و فرآیند خاص خود بررسی کرد. قبل از شروع فرآیند تولید، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا تنظیمات مناسب تعیین شود و یکنواختی دما بررسی شود.