هیتر کوارتز برای شستشو و خشککن ویفر
در خط تولید، دستگاه شستشو و خشککن درست بین مراحل تمیزکاری و لیتوگرافی قرار دارد. حتی اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث ایجاد آثار...
خشککن FOUP (کپسول متحد با درگاه جلویی)
در سالن لیتوگرافی، شما یک FOUP را باز میکنید و خطر قبل از اینکه بتوانید آن را ببینید به شما ضربه میزند. رطوبت باقیمانده. فتو مقاومت که در دمای...