در سالن لیتوگرافی، شما یک FOUP را باز میکنید و خطر قبل از اینکه بتوانید آن را ببینید به شما ضربه میزند. رطوبت باقیمانده. فتو مقاومت که در دمای یکسان در سرتاسر دسته نیست. یک پخت نرم که فقط ۲ درجه سانتیگراد تغییر میکند و ناگهان شما برای ساعتها در حال تلاش برای کنترل عرض خط هستید. در کارخانههای با حجم بالا، این نوع تغییرات حرارتی تنها در خط نشان داده نمیشود—بلکه به ضایعات و زمانهای غیر برنامهریزی شده تبدیل میشود.
آنچه در زیر سطح اهمیت دارد
ما خشککن FOUP را بر اساس امیترهای مادون قرمز با موج کوتاه طراحی کردیم که به نحوه جذب گرما توسط سیلیکون و فتو مقاومت تنظیم شدهاند. این به شما گرمایش انتقال مستقیم با یکنواختی در سطح ویفر ±۰.۱ درجه سانتیگراد میدهد. پروفایل حرارتی از دستهای به دسته دیگر قابل تکرار است زیرا ما خروجی امیتر را در یک حلقه بسته کنترل میکنیم—هیچ حدس و گمانی از هوای محفظه. سیستم خروجی را به سبک اتاق پاک میکند و از مواد با کلاس ۱–۱۰۰ استفاده میکند تا تولید ذرات به صفر برسد. و این سیستم ۲۴/۷ با نگهداری پیشبینیشده زمانبندی شده کار میکند، نه خرابیهای غیرمنتظره.
چرا این سیستم با فرآیند هماهنگ است
این همان خشککن است که زمانی که دما مهم است به کار میآید—پخت نرم، پخت سخت و خشک کردن پس از شستشو. کنترل حرارتی دقیق پراکندگی ابعاد بحرانی (CD) را در سرتاسر دسته و در سرتاسر ویفر کاهش میدهد که به افزایش بازده در نودهای تنگ کمک میکند. بازیابی سریع دما زمان چرخه FOUP را بدون قربانی کردن یکنواختی کوتاه میکند و طراحی با جرم حرارتی پایین انرژی مصرفی را در زمان بیکاری و افزایش بار پایین نگه میدارد. نتیجه این است که تعداد بازنگریها کمتر، تعداد انحرافات کمتر و توان عملیاتی است که میتوانید بر اساس آن برنامهریزی کنید.
جزئیات عملی
نصب به تطبیق رابط داک FOUP و تأیید ظرفیت خروجی شما برای مدیریت بار بخار حلال بستگی دارد. پنجره امیتر مادون قرمز را تمیز نگه دارید—در فرمولهای با حلال بالا، یک برنامه پاکسازی پیشگیرانه تنظیم کنید تا خروجی پایدار بماند. و ردیابی کالیبراسیون پخت را به روال SPC خود اضافه کنید. تکرارپذیری تنها زمانی اهمیت دارد که سیستم اندازهگیری شما بتواند همگام بماند.